平整度低至0.1mm 芯密度高達(dá)230kg/m3 單元尺寸小于3cm2 應(yīng)用于精密電子顯微鏡的隔震臺
美國TMC設(shè)計(jì)和制造適用于納米技術(shù)領(lǐng)域的建筑地面光學(xué)減震平臺，TMC光學(xué)隔震平臺支持超精密測量、儀器和制造。TMC提供多種系列的光學(xué)減震平臺和光學(xué)面包板，包括CleanTop光學(xué)平臺性能系列，CleanTop光學(xué)平臺專業(yè)系列，用剛性聯(lián)軸器拼接光學(xué)平臺，CleanTop光學(xué)面包板，Hybrid Honeycomb面包板，此外TMC還提供光學(xué)平臺支撐系統(tǒng)，適用于CleanTop光學(xué)平臺和面包板的各種支腿系統(tǒng)。有氣動、壓電、混合隔震或無額外隔震性能的支腿可供選擇。
TMC光學(xué)平臺長期以來一直堅(jiān)持光學(xué)頂部的干式阻尼優(yōu)于油基阻尼器的理念。油的特性會隨著時(shí)間的推移而改變，而隱藏的油箱總是有被最終用戶在改造系統(tǒng)時(shí)刺穿的危險(xiǎn)。TMC光學(xué)隔震平臺的結(jié)構(gòu)共震阻尼方法一直基于“寬帶阻尼”的方法?！罢{(diào)諧阻尼”或使用調(diào)諧質(zhì)量阻尼器與頂部彎曲模式異相共震是一種危險(xiǎn)的方法。首先，它假設(shè)阻尼器可以設(shè)置為與頂部的共震頻率一致。光學(xué)頂部的共震頻率將根據(jù)負(fù)載、負(fù)載分布、溫度甚至阻尼器本身而變化。因此，在實(shí)踐中，難以將阻尼器調(diào)諧到頂部的共震。此外，它還假設(shè)，當(dāng)需要注意許多二次彎曲和扭曲模式時(shí)，只有低共震頻率才需要阻尼。更重要的是，采用調(diào)諧質(zhì)量阻尼器來抑制結(jié)構(gòu)共震的概念并不完善。調(diào)諧阻尼僅在阻尼離散共震時(shí)才有效，并不適合用于阻尼寬帶結(jié)構(gòu)共震。簡單來說，通過創(chuàng)建聯(lián)接的質(zhì)量系統(tǒng)，調(diào)諧阻尼器將結(jié)構(gòu)共震“分裂”成兩個(gè)共震。TMC光學(xué)減震平臺專有的寬帶阻尼技術(shù)是阻尼光學(xué)頂部的有效方法。這種方法適用于整個(gè)感興趣的頻率范圍，在頂部的主要、次要和更高的共震頻率下耗散能量。此外，增加頂部的重量不會影響性能。TMC隔震臺的光學(xué)頂部具有的保證性能水平。此外，通過三級寬帶阻尼和三種環(huán)境選擇，TMC隔震平臺在性能水平的選擇方面具有很大的靈活性。標(biāo)準(zhǔn)阻尼水平提供的順應(yīng)性水平比表中的水平高四倍。建議僅對非敏感應(yīng)用采用低阻尼水平。
CleanTop光學(xué)隔震平臺的主要特點(diǎn)：
-防溢光學(xué)頂部
-全鋼光學(xué)頂部
-無油光學(xué)頂部
-對齊到螺紋孔陣列的蜂窩芯
-帶成型孔而不是鉆孔的輕質(zhì)面包板
-與真空兼容的光學(xué)頂部
CleanTop光學(xué)減震平臺是光學(xué)頂部的另一項(xiàng)創(chuàng)新，TMC光學(xué)減震平臺已經(jīng)在光學(xué)頂部行業(yè)創(chuàng)下了多個(gè)“”。CleanTop的具體特點(diǎn)如下：
-表面的液體溢出物受到限制，無法到達(dá)頂部的蜂窩芯
-芯經(jīng)過全面的清潔和干燥，沒有殘留的螺紋切削油，從而不會釋放氣體
-極其干凈的螺紋孔使螺釘可以平穩(wěn)和輕松地插入
-可以輕松取出掉入孔中的小零件
-由于在頂部表面使用危險(xiǎn)化學(xué)品時(shí)化學(xué)品不會滲入芯內(nèi)，因此不小心接觸芯的化學(xué)品不會對健康造成危害
CleanTop光學(xué)減震平臺的應(yīng)用領(lǐng)域：
-用于電生理學(xué)、IVF和成像的工作表面可實(shí)現(xiàn)更高的分辨率和更精確的測量。
-的消震系統(tǒng)創(chuàng)造了摩爾定律所要求的更安靜環(huán)境。
-CleanTop®光學(xué)平臺可提供從干涉儀到拍瓦激光器等光學(xué)系統(tǒng)所需的超穩(wěn)定支撐。
-適用于SEM、TEM和其他帶電光束工具的完整環(huán)境解決方案。
-精確的震動控制，可實(shí)現(xiàn)精確的測量。-微電子/微機(jī)電系統(tǒng)制造
CleanTop光學(xué)隔震平臺性能系列：
TMC光學(xué)隔震臺和隔震平臺采用全鋼結(jié)構(gòu)，具有市場上比較高的芯密度和比較小的蜂窩單元面積，可提供業(yè)界的性能和剛性。CleanTop性能系列具有三個(gè)阻尼性能級別以及適用于各種應(yīng)用的多種配置選項(xiàng)。各個(gè)光學(xué)減震平臺甚至可以機(jī)械連接，以便在不損失阻尼性能的情況下創(chuàng)建復(fù)雜的剛性工作臺形狀。
| CleanTop光學(xué)平臺性能系列的規(guī)格 | |
| 芯 | 鋼蜂窩、閉孔、0.01英寸（0.2毫米）厚的箔 |
| 芯剪切模量 | 275,000 PSI（19300 kg/cm2） |
| 芯單元尺寸 | < 0.5 in.2（3 cm2） |
| 芯密度 | 13.3磅/立方英尺（230 kg/m3） |
| 平整度 | 無論工作臺尺寸如何，在整個(gè)螺紋孔圖案內(nèi)+/- 0.005英寸（0.13毫米） | 在2 x 2英尺（60 x 60厘米）區(qū)域內(nèi)+/- 0.004英寸（0.1毫米） |
| 頂部蒙皮 | 400系列3/16英寸（5毫米）厚的鐵磁不銹鋼 |
| 側(cè)壁 | 由乙烯基包覆的阻尼成型鋼通道 |
| 螺紋孔 | 由1英寸（25毫米）長的CleanTop尼龍杯支撐。鋼杯可選。 |
CleanTop光學(xué)平臺性能系列包括三種型號系列：
研究級784系列：提供優(yōu)異的光學(xué)頂部性能，它結(jié)合了小的單元尺寸、高的芯密度、的CleanTop®設(shè)計(jì)、全鋼結(jié)構(gòu)以及市場上高水平的結(jié)構(gòu)阻尼。研究級CleanTop適用于苛刻的應(yīng)用，包括干涉儀、全息和超快激光器以及嚴(yán)重的地面震動環(huán)境。為了獲得優(yōu)異的整體震動控制效果，請考慮將此頂部與LaserTable-Base™支架（混合空氣/壓電、2級消震系統(tǒng)）相結(jié)合。
科學(xué)級783系列：科學(xué)級具有與研究級相同的芯尺寸、密度、CleanTop杯和減少阻尼的全鋼結(jié)構(gòu)等設(shè)計(jì)特點(diǎn)?？茖W(xué)級阻尼的峰值順應(yīng)性水平比研究級阻尼的峰值順應(yīng)性水平高出4倍。
實(shí)驗(yàn)室級781系列：為不太嚴(yán)重的地面震動環(huán)境中不敏感的應(yīng)用提供經(jīng)濟(jì)的性能水平。實(shí)驗(yàn)室級適用于需要?jiǎng)傂?、平坦安裝表面的一般實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用。
CleanTop光學(xué)平臺專業(yè)系列：
CleanTop光學(xué)平臺專業(yè)系列包括用于潔凈室的ClassOne 790系列、非磁性710系列和真空兼容730系列。
ClassOne 790系列：與所有TMC CleanTop光學(xué)平臺一樣，ClassOne具有高的芯密度和小的蜂窩單元面積。每個(gè)螺紋孔下方的單個(gè)杯子都經(jīng)過氣密處理，頂部可以防溢。ClassOne光學(xué)減震平臺有各種標(biāo)準(zhǔn)和定制尺寸以及兩種阻尼水平可供選擇。
| 用于潔凈室的ClassOne 790系列的規(guī)格 | |
| 芯 | 鋼蜂窩、閉孔、0.01英寸（0.2毫米）厚的箔 |
| 芯剪切模量 | 275,000 PSI（19300 kg/cm2） |
| 芯單元尺寸 | < 0.5 in.2（3 cm2） |
| 芯密度 | 13.3磅/立方英尺（230 kg/m3） |
| 平整度 | 無論工作臺尺寸如何，在整個(gè)螺紋孔圖案內(nèi)+/- 0.005英寸（0.13毫米） | 在2 x 2英尺（60 x 60厘米）區(qū)域內(nèi)+/- 0.004英寸（0.1毫米） |
| 頂部蒙皮 | 400系列3/16英寸（5毫米）厚的鐵磁不銹鋼 |
| 側(cè)壁 | 不銹鋼與阻尼內(nèi)表面 |
| 螺紋孔 | 由1英寸（25毫米）長的CleanTop尼龍杯支撐。不銹鋼杯可選。 |
非磁性710系列：TMC光學(xué)減震平臺的CleanTop光學(xué)頂部采用非磁性結(jié)構(gòu)，推薦用于需要支撐高強(qiáng)度磁鐵或保持均勻磁場的應(yīng)用。雖然不銹鋼合金不能100％非磁性，但316合金頂層、底層和內(nèi)部蜂窩結(jié)構(gòu)可顯著降低鐵磁性能。同時(shí)，側(cè)壁和杯子不含鐵。
| 非磁性710系列的規(guī)格 | |
| 芯 | 316鋼合金蜂窩、閉孔、0.01英寸（0.2毫米）厚的箔 |
| 芯剪切模量 | 275,000 PSI（19300 kg/cm2） |
| 芯單元尺寸 | < 0.5 in.2（3 cm2） |
| 芯密度 | 13.3磅/立方英尺（230 kg/m3） |
| 平整度 | 無論工作臺尺寸如何，在整個(gè)螺紋孔圖案內(nèi)+/- 0.005英寸（0.13毫米） | 在2 x 2英尺（60 x 60厘米）區(qū)域內(nèi)+/- 0.004英寸（0.1毫米） |
| 頂部蒙皮 | 316合金不銹鋼 - 厚度為3/16英寸（5毫米） |
| 側(cè)壁 | 由乙烯基包覆的復(fù)合材料側(cè)面與阻尼內(nèi)表面 |
| 螺紋孔 | 由1英寸（25毫米）長的CleanTop尼龍杯支撐 |
真空兼容730系列：TMC光學(xué)隔震平臺將我們固有的CleanTop®設(shè)計(jì)與幾個(gè)新專有設(shè)計(jì)特征、清潔方法以及為德克薩斯大學(xué)拍瓦激光項(xiàng)目開發(fā)的真空泵送程序相結(jié)合，達(dá)到了以前無法達(dá)到的真空兼容水平。
用剛性聯(lián)軸器連接光學(xué)隔震平臺：
TMC光學(xué)隔震臺通過將一個(gè)經(jīng)過精密磨削和對齊的專有接合板系統(tǒng)焊接到頂部的結(jié)構(gòu)元件上，TMC可以在隔震光學(xué)平臺之間提供剛性聯(lián)接。TMC光學(xué)平臺的工藝包括對齊技術(shù)，可確保頂部保持高平整度規(guī)格，而不會因接合板焊接到頂部的熱效應(yīng)而發(fā)生變形。
拼接后，TMC光學(xué)隔震平臺就像一個(gè)整體結(jié)構(gòu)。與所有大型結(jié)構(gòu)一樣，較大拼接系統(tǒng)的行為將與單個(gè)頂部的行為不同。拼接隔震光學(xué)平臺技術(shù)確保了多個(gè)頂部之間的平整度。接合板是一組經(jīng)過精密磨削的、厚20毫米（0.75英寸）的配套鋼材，帶有一套定位銷，用于保持對齊。板沿著接合板的整個(gè)長度焊接在頂部和底部蒙皮上。在組裝完成后，用不銹鋼帶覆蓋接合板。接合板的標(biāo)準(zhǔn)材料是鋼。
許多形狀都可提供。TMC光學(xué)隔震臺通常以“端到端”配置或以“T”或“L”形狀拼接。拼接式平臺也可以配置為“邊對邊”或形狀的組合。同一厚度的隔震光學(xué)平臺可以相互拼接，甚至兩種不同厚度的工作臺也可以拼接為階梯式配置。例如，如果一個(gè)大型頂部無法裝入電梯，則可以拼接工作臺以協(xié)助安裝。
Hybrid Honeycomb隔震面包板：
TMC隔震平臺中許多超精密工具包括光學(xué)子組件。這種子組件必須安裝在剛性、平坦的阻尼表面上，以保持光學(xué)系統(tǒng)的位置穩(wěn)定性。直到現(xiàn)在，工程師都不得不在機(jī)加工鋁板和蜂窩光學(xué)面包板之間做出選擇。鋁板的優(yōu)點(diǎn)是可加工到精確的平整度、平行度以及孔位置的偏差較小。蜂窩面包板的優(yōu)點(diǎn)是可提供結(jié)構(gòu)阻尼以及更高的剛度重量比。TMC光學(xué)隔震平臺的創(chuàng)新地結(jié)合了兩者的優(yōu)點(diǎn)。Hybrid Honeycomb™以鋁板開始。對板進(jìn)行機(jī)加工以獲得所需的特征。然后將底面加工掉，留下一個(gè)整體蜂窩圖案，以減輕結(jié)構(gòu)的重量。然后，在蜂窩單元上用環(huán)氧樹脂粘合底部蒙皮，以封閉結(jié)構(gòu)并提供額外的阻尼和剛度。Hybrid Honeycomb是光子學(xué)工具和應(yīng)用中光學(xué)組件的理想選擇，它是一種工程解決方案，可根據(jù)您的需求進(jìn)行配置。
| Hybrid Honeycomb面包板的規(guī)格 | |
| 頂板 | 機(jī)加工鋁 |
| 表面處理 | 透明或黑色陽極氧化 |
| 芯 | 整體到頂板。單元由一個(gè)整體結(jié)構(gòu)加工而成 |
| 底板 | 機(jī)加工鋁 |
| 平整度 | +/-0.005英寸（0.13毫米） |
| 孔圖案 | 25毫米中心的M6，1英寸中心的?-20或定制 |
| 孔 | 通過加工盲孔的過程密封 |
CleanTop光學(xué)隔震面包板：
CleanTop®鋼光學(xué)面包板可為較小的頂部提供的剛性和阻尼。這些頂部有2英寸和4英寸厚度，與我們的大型光學(xué)平臺具有相同的高性能CleanTop結(jié)構(gòu)。
TMC隔震臺的CleanTop®鋼光學(xué)面包板有三種性能級別以及一系列定制選項(xiàng)可供選擇。
78系列：為較小的頂部提供大的剛性和阻尼。推薦用于要求高的面包板應(yīng)用。
77系列：與78系列相比，頂部蒙皮略薄，剛性和阻尼略低，但成本和重量較低。
75輕量級系列：大限度地減輕了重量和成本。這些面包板具有相對較高的剛性，因?yàn)樗鼈兪褂昧宋覀兊臉?biāo)準(zhǔn)鋼芯，然而，由于它們的頂部和底部蒙皮較薄，它們不具有78和77系列的剛性和阻尼特性。當(dāng)預(yù)計(jì)載荷較輕和當(dāng)?shù)椭亓亢?或低成本是主要考慮因素時(shí)，它們是理想的選擇。重量比78系列面包板減輕50％。
| CleanTop光學(xué)面包板的規(guī)格 | |
| 芯 | 鋼蜂窩、閉孔、0.01英寸（0.2毫米）厚的箔 |
| 芯剪切模量 | 275,000 PSI（19300 kg/cm2） |
| 芯單元尺寸 | < 0.5 in.2（3 cm2） |
| 芯密度 | 13.3磅/立方英尺（230 kg/m3） |
| 平整度 | +/-0.005英寸（0.13毫米） |
| 頂部蒙皮 | 430系列鐵磁不銹鋼 |
| 頂部蒙皮厚度 | 78系列的3/16英寸（5毫米）。77系列的1/8英寸（3毫米）。75系列的0.075英寸（2毫米） |
| 側(cè)壁 | 由乙烯基包覆的阻尼成型鋼通道 |
| 螺紋孔 | 由1英寸（25毫米）長的CleanTop尼龍杯支撐 |
光學(xué)平臺支撐系統(tǒng)：
TMC為我們的CleanTop隔震光學(xué)平臺和面包板提供各種各樣的支腿系統(tǒng)。
通常，TMC隔震臺和面包板放置在通過拉桿連接在一起的氣動或剛性支架上。這是TMC的Micro-g系列的支撐系統(tǒng)。對于極其敏感的應(yīng)用，特別是低于5 Hz的地板震動，我們推薦使用主動壓電和混合解決方案 - STACIS III和LaserTable-Base。
Micro-g系列：Micro-g光學(xué)平臺支撐系統(tǒng)是TMC隔震光學(xué)平臺和面包板的理想選擇。它有包括高度、承重能力和隔震性能在內(nèi)的多種配置選項(xiàng)。大多數(shù)頂部應(yīng)該選擇由帶有拉桿的四柱系統(tǒng)支撐，但對于那些長度超過10英尺（3米）的頂部，我們建議使用6柱系統(tǒng)。除了更高的承重能力之外，頂部的結(jié)構(gòu)特性還通過額外的支撐點(diǎn)得到了增強(qiáng)。如果支柱之間需要開放式通道，則可以選擇Micro-g獨(dú)立式支柱來代替帶有拉桿的支柱。雖然一般配置為4和6條支腿，但其他配置可包括3和5條支腿。獨(dú)立支柱為相對于光學(xué)頂部的支柱定位提供了很好的靈活性。
LaserTable-Base：LaserTable-Base™是現(xiàn)有TMC隔震平臺隔震技術(shù)的一大飛躍。通常，TMC隔震平臺由低頻氣動隔震系統(tǒng)支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效，但這些被動系統(tǒng)實(shí)際上放大了關(guān)鍵的1至3 Hz范圍內(nèi)的震動。TMC的STACIS通過結(jié)合壓電致動器和慣性震動傳感器的專有技術(shù)克服了這些限制，可消除而不會放大極低頻震動。LaserTable-Base將這兩項(xiàng)技術(shù)（空氣和STACIS）整合到一個(gè)集成的消震系統(tǒng)中。由于兩個(gè)串聯(lián)隔震系統(tǒng)的綜合效應(yīng)，這實(shí)現(xiàn)了低頻率消震和的高頻隔震水平。LaserTable-Base的上部氣動部分采用模塊化設(shè)計(jì)，可互換。它可以結(jié)合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空氣隔震器或剛性、非隔震支架，具體取決于應(yīng)用要求。
| LaserTable-Base的規(guī)格 | |
| 技術(shù) | STACIS®技術(shù) |
| 消震系統(tǒng) | 主動慣性消震系統(tǒng) |
| 消震頻率 | 消震從低于1 Hz開始 |
| 行程 | 加長行程的壓電致動器，高達(dá)60微米 |
| 自由度 | 6個(gè)主動自由度 |
| 隔震效果 | 由兩個(gè)串聯(lián)隔震系統(tǒng)組成，可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異隔震效果 |
| 隔震器 | 采用MaxDamp®空氣隔震器 |
| 結(jié)構(gòu) | 簡單、堅(jiān)固且經(jīng)濟(jì)高效 |
| 數(shù)字控制器 | 包括TMC的DC-2020數(shù)字控制器 |
| 擱板（可選） | 用于在工作臺下方安裝設(shè)備 |
