產(chǎn)品簡(jiǎn)介
TGS300超環(huán)面光柵攝譜儀專為研究分析真空紫外光譜而開發(fā)設(shè)計(jì)。TGS300可在像面形成二維平場(chǎng)，配合陣列探測(cè)器實(shí)現(xiàn)真空紫外光譜范圍內(nèi)的一次性全譜采集。安裝XY平臺(tái)上的標(biāo)準(zhǔn)DN100CF法蘭接口，可以方便地調(diào)整和優(yōu)化陣列探測(cè)器的中心波長(zhǎng)和聚焦特性。
技術(shù)特點(diǎn)
單片式光學(xué)結(jié)構(gòu)確保光通量zui大化，高光學(xué)穩(wěn)定性。
HJY的超環(huán)面光柵技術(shù)，全光譜范圍內(nèi)優(yōu)異的消像差能力。
超長(zhǎng)的40mm光譜長(zhǎng)度，橫向滑動(dòng)CCD測(cè)量更寬的光譜，縱向滑動(dòng)CCD優(yōu)化成像質(zhì)量。
光譜覆蓋zui低至10nm，10-30nm具有超高分辨率。
支持超高真空度10-9mbar，可接入同步輻射裝置。
典型應(yīng)用
紫外和紫外等離子體光譜分析
紫外光源表征
激光高次諧波研究
EUV光源表征
技術(shù)指標(biāo)
| 三塊標(biāo)準(zhǔn)光柵可選 | |
| 2105 gr/mm | 光譜范圍: 9.5 – 32 nm 中心波長(zhǎng): 12nm |
| 450 gr/mm | 光譜范圍: 10 – 110 nm 中心波長(zhǎng): 15nm |
| 290 gr/mm | 光譜范圍: 15.5 – 170 nm 中心波長(zhǎng) : 35nm |
| 光學(xué)設(shè)計(jì) | HJY超環(huán)面消像差光柵 |
| 焦長(zhǎng) | 300 mm |
| 孔徑 | f/20 |
| 分辨率 | 低至0.04nm (*) |
| 波長(zhǎng)驅(qū)動(dòng) | 固定 |
| 高真空 | 10-6 mbar |
| 真空泵法蘭 | DN40 KF |
| Slits | 嵌入式 |
| 陣列探測(cè)器法蘭 | DN100CF |
| 可選項(xiàng)： | |
| 狹縫 | 手控或自動(dòng) |
| 多光柵切換裝置 | 光柵滑塊可裝載3塊光柵，真空中靈活切換 |
| 超高真空 | 配合DN63CF真空泵法蘭可達(dá)10-9 mbar超高真空 |
| (*) 使用2105線/mm光柵和10μm狹縫在波長(zhǎng)20nm處測(cè)量。 | |
附件
前鏡腔，配備兩塊超環(huán)面鏡，實(shí)現(xiàn)光源和單色儀之間的光學(xué)匹配
后鏡腔，配備兩塊超環(huán)面鏡，實(shí)現(xiàn)單色儀和樣品室之間的光學(xué)匹配
樣品室，可搭載4塊直徑不大于25mm的樣品
偏振插片
制冷機(jī)，zui低至4K
真空泵
