西安明克斯向國內(nèi)用戶現(xiàn)貨提供DHDM系列直流磁控濺射鍍膜裝置，歡迎選購。
一、DHDM系列直流磁控濺射鍍膜裝置概述：
| | DHDM-1 | DHDM-2 | DHDM-3 |
| 沉積室 | 玻璃真空室 | 不銹鋼真空室 | |
| 濺射電源 | 直流200～700V可調(diào)，功率0～1000W可調(diào) | ||
| 磁控靶 | Φ50mm平面靶 | ||
| 真空系統(tǒng) | 機械泵 | 機械泵+擴散泵 | 機械泵+分子泵 |
| 極限真空 | 6.7×10-1Pa | 5×10-4Pa | 8×10-5Pa |
| 恢復真空 | 2Pa | 5×10-3Pa | 8×10-4Pa |
| 進氣系統(tǒng) | 二路轉(zhuǎn)子流量計或二路質(zhì)量流量計 | ||
| 襯底溫度 | 室溫至300℃可調(diào)可控； | ||
| 真空測量 | 數(shù)顯電阻真空計 | 數(shù)顯復合真空計 | |
DHDM-2 詳細規(guī)格參數(shù)
DHDM-2 1、濺射鍍膜室：玻璃鐘罩+不銹鋼底座，真空室尺寸：Φ300×360mm；
2、濺射電源：直流200～1000 V，功率0～1000 W可調(diào)；
3、濺射靶：Φ2英寸磁控靶，基片臺和磁控靶可調(diào)距離：20～40 mm；
4、基片溫度：室溫～200℃ PID控制；
5、真空測量：數(shù)顯電阻真空計；
6、進氣系統(tǒng)：二路質(zhì)量流量計；
7、真空系統(tǒng)：2XZ-4B機械泵+K-100擴散泵；
8、極限真空：5×10-4 Pa；
9、恢復真空：5×10-3 Pa
10、工作電源：AC220V±5%，50Hz；
11、整機配有水流報警系統(tǒng)，在水壓不夠或斷水時報警，并切斷濺射電源、機械泵電源等；采用獨立式電控柜，帶獨立滾輪，方便維修。電氣元件：主要采用法國施耐德品牌或韓國 LG 品牌產(chǎn)品，產(chǎn)品故障率低；
12、隨機配有高純度銅靶材。
配件 冷卻水系統(tǒng)；注：可用實驗室自來水
氣源：氬氣（99.99%），40升鋼瓶帶減壓閥。
超聲波清洗機：3升/90W/59HZ
DHDM-2 1、濺射鍍膜室：玻璃鐘罩+不銹鋼底座，真空室尺寸：Φ300×360mm；
2、濺射電源：直流200～1000 V，功率0～1000 W可調(diào)；
3、濺射靶：Φ2英寸磁控靶，基片臺和磁控靶可調(diào)距離：20～40 mm；
4、基片溫度：室溫～200℃ PID控制；
5、真空測量：數(shù)顯電阻真空計；
6、進氣系統(tǒng)：二路質(zhì)量流量計；
7、真空系統(tǒng)：2XZ-4B機械泵+K-100擴散泵；
8、極限真空：5×10-4 Pa；
9、恢復真空：5×10-3 Pa
10、工作電源：AC220V±5%，50Hz；
11、整機配有水流報警系統(tǒng)，在水壓不夠或斷水時報警，并切斷濺射電源、機械泵電源等；采用獨立式電控柜，帶獨立滾輪，方便維修。電氣元件：主要采用法國施耐德品牌或韓國 LG 品牌產(chǎn)品，產(chǎn)品故障率低；
12、隨機配有高純度銅靶材。
配件 冷卻水系統(tǒng)；注：可用實驗室自來水
氣源：氬氣（99.99%），40升鋼瓶帶減壓閥。
超聲波清洗機：3升/90W/59HZ
| DH450-ZZK 真空鍍膜機 | 本裝置適用于在塑膠、玻璃、陶瓷等材質(zhì)的工件上鍍制金屬膜、裝飾膜、硬質(zhì)膜、金剛膜、或光學膜等科研與生產(chǎn)工作。 主要技術(shù)參數(shù) 1、真空室：鍍膜室尺寸：Φ450×540mm；結(jié)構(gòu)：箱式前開門結(jié)構(gòu)，后置抽氣系統(tǒng)，手動推拉式；觀察窗：鍍膜室門上配有Φ100mm觀察窗； 2、蒸發(fā)組件：蒸發(fā)電源（3KW/10V）2組；水冷蒸發(fā)電極2對； 3、控制方式：手動按鍵式； 4、旋轉(zhuǎn)夾具：球面拱形夾具，0~30r/min無級可調(diào)（可根據(jù)要求定制）； 5、工件烘烤：室溫～300℃（PID控制）； 6、真空測量：數(shù)顯復合真空計； 7、供電電源：三相AC380V，50Hz； 8、選配件：石英晶振膜厚測控儀、高壓離子轟擊； 9、用戶需自備或另購冷卻水系統(tǒng)。 | 1、真空系統(tǒng)：機械泵（2XZ-8B機械泵）+擴散泵（K-200不銹鋼擴散泵）； 2、極限真空：2×10-4Pa； 3、恢復真空：5×10-3 Pa（小于25min）。 |
| DH450-ZZF 真空鍍膜機 | 1、真空系統(tǒng)：機械泵（2ZX-8機械泵）+分子泵（FF160/620分子泵）； 2、極限真空：6.7×10-5Pa； 3、恢復真空：5×10-4Pa（小于45min）。 | |
| DH-500JJC 多靶磁控濺射鍍膜機 | 該設備是單室多靶磁控濺射鍍膜設備，主要用磁控濺射或反應濺射的方法制備金屬膜，半導體膜，陶瓷膜，介質(zhì)復合膜及多層膜和其它化學反應膜及摻雜膜等。 適用于鍍制各種單層膜，多層膜及摻雜膜系。 主要技術(shù)參數(shù) 1、真空室內(nèi)腔尺寸：Φ500×600（mm）為圓筒式電動上掀蓋全不銹鋼結(jié)構(gòu)； 2、極限真空度：≤5×10-5 Pa(系統(tǒng)經(jīng)烘烤)； 3、恢復真空：從大氣抽至6.4×10-4 Pa ≤（40分鐘）； 4、觀察窗：規(guī)格Φ100mm帶護目遮板 數(shù)量：2個； 5、濺射靶組件：3組Φ2英寸磁控靶，基片臺和磁控靶可調(diào)距離：110～130mm可調(diào)，并有調(diào)位距離指示；三套靶電動擋板，每個靶前面配有一套靶擋板，電動控制可遮擋三個工件位置；靶在下，基片在上，向上濺射成膜；射頻濺射與直流濺射兼容，靶內(nèi)有水冷； 6、樣品轉(zhuǎn)臺：基片尺寸45×60mm；三個可以放置基片位置，一個基片臺可以加熱；加熱溫度可達到500℃；基片轉(zhuǎn)盤能夠0～360°來回轉(zhuǎn)動。拆掉加熱裝置測量線和電源線后能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)回轉(zhuǎn)；基片可以加負偏壓，在0～-200V連續(xù)可調(diào)； 7、真空系統(tǒng)：機械泵+分子泵準無油真空系統(tǒng)； 8、工作氣路：二路質(zhì)量流量控制器控制進氣； 9、濺射電源：直流電源 1000W 1臺；射頻電源 500W（13.56MHz）2臺； 10、供電電源：三相AC380V，50Hz； 11、真空測量：數(shù)顯復合真空計； 12、配有膜厚控制系統(tǒng)； 13、選購件：負偏壓電源、循環(huán)水機組等。 | |
| 產(chǎn)品名稱/型號 | 產(chǎn)品配置/技術(shù)參數(shù)性能 | |
| DH-900DZX 電弧/磁控濺射箱式鍍膜機 | PVD 涂層技術(shù)不僅可提供炫耀的色彩涂層，還具有超硬度、耐磨損、耐腐蝕、抗劃痕和應力碎裂，而且在日常磨損條件下可保持耀眼的光澤，是應用于裝飾工業(yè)的主流技術(shù)。PVD 涂層技術(shù)包括電弧離子鍍、磁控濺射鍍（直流、脈沖、中頻和非平衡）以及復合鍍膜。 可獲得顏色包括： 1. TiN（ 仿金色）； 2. ZrHfN、TiZrN（ 仿金色）； 3. TiC 、TiNC（亮灰色、槍黑色）； 4. TiNC、TiAlN（ 玫瑰金、咖啡色）； 5. TiO、 TiAlN（ 寶石蘭色、彩虹色）； 6. ZrN（ 黃銅色、鋯金色）； 7. ZrO（ 仿不銹鋼色）； 8. Ni、Cr、AL、Au、Ag（ 金、銀、鎳、鉻、鋁等單色金屬膜）。 主要技術(shù)參數(shù) 1、真空腔室尺寸：Φ900×H1000mm；可鍍膜空間：Φ600×H700mm； 2、極限真空：5.0×10-4Pa； 3、工件架：8根公自轉(zhuǎn)桿+4根公轉(zhuǎn)桿，公/自轉(zhuǎn)0-20RPM，可加熱烘烤至500℃； 4、矩形靶尺寸：650×150mm 矩形，非平衡磁控濺射靶，對靶結(jié)構(gòu)； 5、濺射電源：中頻脈沖恒流源，電壓可調(diào)。頻率 40KHz，功率 20KW； 6、弧源：φ100mm弧源； 7、電弧電源：250A 逆變弧電源，數(shù)量：六臺； 8、供電電源：三相AC380V，50Hz；整機功率30KW； 9、控制方式：PLC+PC自動； 10、強制水冷保護系統(tǒng)。 | |
| DH-500ZZS 箱式電子束 蒸發(fā)鍍膜機 | 本箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機由我公司和材料物理重點實驗室聯(lián)合研制。 適用于制備導電薄膜，半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜，高性能薄膜研究及新材料科學研究工作。其主要特點為功能強、鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定、重復性好、操作簡便。 主要技術(shù)參數(shù) 1、鍍膜室體積：500×500×600mm，特殊規(guī)格可定做； 2、極限真空：6.7×10-5 Pa，恢復真空：從大氣抽至6.7×10-4 Pa ≤（40分鐘）； 3、抽氣系統(tǒng)：直聯(lián)機械泵+復合分子泵組成；真空測量：復合數(shù)顯真空計； 4、蒸發(fā)源：電子束蒸發(fā)源：270°E型電子槍及高壓電源，電子槍功率0～6KW可調(diào)；電阻蒸發(fā)源：銅水冷電極4根，功率：3kW/10V兩組； 5、結(jié)構(gòu)形式：立式前開門后置抽氣系統(tǒng)； 6、工件烘烤溫度：室溫～500℃可控可調(diào)（PID控溫）； 7、旋轉(zhuǎn)夾具：公轉(zhuǎn)或行星公自轉(zhuǎn)夾具。速度從 0r～30r/min 無級可調(diào)； 8、供電電源：三相AC380V，50Hz；整機功率22KW； 9、選配件：光學膜厚測量系統(tǒng)、石英晶振測厚儀、高壓離子轟擊、霍爾離子源、冷卻水機組等。 | |
