470是的溶解臭氧測量模塊，為半導(dǎo) 體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設(shè)計。它能 夠提供去離子水或硫酸中濃度高達150mg/L 的溶解臭氧測量。470已完成“預(yù)備清潔”， 能夠滿足高純度半導(dǎo)體過程的需求，并且可 簡單的直接拼接進任何濕法處理的環(huán)流回路 中，支持150 SLPM的流量。 470型傳感器使用雙路取樣傳感技術(shù)，達到 了的性能，且擺脫了對參比液體測 量的需求。 通常的安裝僅僅包括470傳感器和特氟龍7包 裹的內(nèi)部連接電纜。470傳感器能夠通過模 擬或數(shù)字信號向濕法處理過程控制臺遠程報 告測量的濃度。
技術(shù)指標(biāo)
產(chǎn)品特點
技術(shù)指標(biāo)
- 測量原理 ：紫外吸收法，雙路取樣傳感技術(shù)
- 紫外光源 ：低壓汞燈
- 測量單位 ：ppmw, mg/L
- 量程 ：高達150 mg/L (150 ppmw)
- 精度 ：0.5mg/L 或 1%讀數(shù) (以較大值為
- 準）
- 水流量 ：高達150 SLPM
- 采樣端口 ：1”, 3/4”, 3/8” Flaretek 連接
- 壓強 ：55 PSI
- 接觸材料 ：特氟龍, 藍寶石, 與半導(dǎo)體流程相容
- 外殼 ：聚四氟乙烯特氟隆
- 尺寸 ：5.69” 寬 x 6.8” 高 x 3.2” 長 - 垂直固定 (144 x 171 x 82 mm)
- 維護 ：紫外燈每24個月替換一次 無其他預(yù)定維護
- 電纜 ：特氟龍外層
- 電源 ：+15 VDC
- 認證 ：CE 認證
- 模擬輸出 ：4到20mA或0到5VDC，出廠時選擇
- 數(shù)字 I/O ：RS-232 或 RS485，出廠時選擇
- 遠程校零 ：通過DB15進行遠程零點校準
產(chǎn)品特點
- 現(xiàn)場檢測
- 在線且全流量監(jiān)測
- 直線通過的流型
- 無移動部件
- 無消耗品
- 測量范圍達150 mg/L
- 遠程零點校準
- 高精度紫外吸收法
- 雙光道采樣感應(yīng)技術(shù)
- 不需求日常維護
- 半導(dǎo)體級別濕式材料
- 緊湊的特氟龍外殼
- 特氟龍7包裹的內(nèi)部連接電纜
- 液態(tài)溶解臭氧
- 半導(dǎo)體濕法清洗系統(tǒng)
- 超純水系統(tǒng)
- 制藥業(yè)
- 水處理
- 其他工業(yè)過程
