皮米精度激光干涉儀IDS 3010(NEW)
德國(guó)attocube公司在皮米精度位移激光干涉儀FPS的基礎(chǔ)上，于近推出了體積更小、適合集成到工業(yè)產(chǎn)品與同步輻射應(yīng)用中的IDS型號(hào)皮米精度位移激光干涉儀。與FPS型號(hào)干涉儀相似，IDS型號(hào)同樣適用于環(huán)境如高真空與高輻射環(huán)境并且具有*精度與*采樣速率。IDS產(chǎn)品是適合工業(yè)集成與工業(yè)網(wǎng)絡(luò)無縫連接的理想產(chǎn)品。產(chǎn)品在工業(yè)應(yīng)用中具有廣泛范圍前景，包括閉環(huán)位移反饋系統(tǒng)搭建、振動(dòng)測(cè)量、軸承誤差測(cè)量等。
| + 設(shè)計(jì)緊湊（50mm x 55mm x 195mm），適合工業(yè)集成 + 工業(yè)化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面 + 測(cè)量速度快，定位樣品采樣帶寬10MHz + 環(huán)境補(bǔ)償單元，不同濕度、壓力環(huán)境中校正反射率參數(shù)提高測(cè)量精度 + 校正簡(jiǎn)單，配備可見激光（650nm）用于校正測(cè)量激光（1530nm） + 測(cè)量精度高，探測(cè)器分辨率高達(dá)1 pm |
IDS 3010激光探頭技術(shù)參數(shù)表
IDS系列激光干涉儀可提供不同型號(hào)探頭（探頭尺寸，光斑大小不同）。
探頭直徑范圍：1.2mm – 22mm。典型準(zhǔn)直激光光斑：1.6mm， 典型聚焦激光光斑：70 mm。
低工作溫度：10mK, 1E-10mBar超高真空適用, 10MGy強(qiáng)輻射環(huán)境適用。
激光探頭 | |||||
型號(hào) | 尺寸mm (直徑與長(zhǎng)) | 工作距離 (低反射， 高反射材料） | 激光類型 （聚焦、準(zhǔn)直） | 光斑 大小
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| D1.2/F7
| φ 1.2; 7.5 | 5-9 mm， 30-45 mm | 聚焦， 焦距7mm | 70mm@7mm |
| D4/F8
| φ 4; 11.5 | 6-10 mm， 15-30 mm | 聚焦， 焦距8mm | 70mm@8mm |
| D4/F13
| φ 4; 11.5 | 11-15 mm， 30-45 mm | 聚焦， 焦距13mm | 70mm@13mm |
| D12/F2.8
| φ 12; 32.3 | 2.8 mm | 聚焦， 焦距2.8mm | 2mm@ 2.8mm |
| M12/C1.6
| φ 14; 17.4 | 0-1000 mm | 準(zhǔn)直 | 1.6mm |
| M15.5/C1.6
| φ 22; 20.6 | 0-1000 mm | 準(zhǔn)直 | 1.6mm |
| M12/C7.6
| φ 14; 49.3 | 0-5000 mm | 準(zhǔn)直 | 7.6mm |
IDS 3010主機(jī)尺寸與接口
實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，皮米精度的穩(wěn)定性 |
測(cè)量速度快，定位樣品采樣帶寬10MHz
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上圖，77mm長(zhǎng)的腔在20個(gè)小時(shí)內(nèi)的實(shí)驗(yàn)測(cè)量數(shù)據(jù)表明數(shù)據(jù)誤差范圍在55 pm！ | 上圖，樣品移動(dòng)速度2米/秒，移動(dòng)范圍1m。 |
皮米精度激光干涉儀IDS 3010應(yīng)用案例
1. 激光干涉儀檢測(cè)納米精度位移臺(tái)
2. 激光干涉儀組建高精度X射線顯微鏡
3. 激光干涉儀無損探測(cè)軸承誤差
4. 激光干涉儀校正極低溫非線性掃描
國(guó)內(nèi)外用戶名單(排名不分先后)
attocube公司產(chǎn)品以其穩(wěn)定的性能、*的精度和良好的用戶體驗(yàn)得到了國(guó)內(nèi)外眾多科學(xué)家的認(rèn)可和肯定，在范圍內(nèi)有超過了4000多位用戶。attocube公司的產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)也得到了低溫、超導(dǎo)、真空等研究領(lǐng)域*科學(xué)家和研究組的歡迎......
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中國(guó)科技大學(xué) | 南京大學(xué) |
中科院物理所 | 中科院半導(dǎo)體所 |
中科院武漢數(shù)學(xué)物理所 | 上海同步輻射中心 |
中科院上海應(yīng)用技術(shù)物理研究所 | 北京理工大學(xué) |
復(fù)旦大學(xué) | 哈爾濱工業(yè)大學(xué) |
