離子濺射儀是為電鏡制樣設(shè)計的離子濺射噴金儀,實現(xiàn)離子在樣品表面濺射,形成金屬薄膜。
當(dāng)需要使用掃描電子顯微鏡(SEM)分析圖像或成分時,由于非導(dǎo)電物體的充電現(xiàn)象會導(dǎo)致圖像失真,使正常測量變得困難。由于電子束在非導(dǎo)電樣品表面積聚帶電粒子,導(dǎo)致圖像失真,因此必須進行濺射(涂層)工藝。
離子濺射儀特點
使用7英寸觸摸顯示屏進行方便的控制
2.真空→ 自動涂層→ 一鍵式通風(fēng)口控制
3.庫:保存頻繁使用條件(zui多10個)
4.樣品樁7根(Φ14㎜) 在室內(nèi)一起安裝
5.防止樣品被低壓涂層損壞(1至10mA)
6.通過緊湊的尺寸zui大限度地減少安裝空間
離子濺射儀規(guī)格參數(shù)
真空度:2.0 x 10-1Torr
離子電流:1-10mA
靶材: 純金或Pt
樣品腔尺寸:Φ140mm(D) x 100mm(H)
樣品臺:Φ50mm(D) x 30mm(H)
靶材尺寸:Φ50mm(D)
濺射時間:1-600秒
真空泵:100L/min
尺寸:Main : 380(W)x240(D)x250(H)mm, 10kg
供電要求:110~220VAC ±10%, 50/60Hz