多氣體，多量程，金屬密封，50-50,000 sccm的質(zhì)量流量控制器
GM50A和GM51A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供模擬量或RS485，Profibus™，EtherCAT®，PROFINET或DeviceNet™I / O。數(shù)字控制電子器件利用的MKS控制算法，可在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點進行快速，可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時間約為500毫秒。數(shù)字校準可在校準氣體上產(chǎn)生設(shè)定點精度的1％。
· 流量從5到50,000 sccm
· 金屬密封，帶特氟龍閥塞
· 多種數(shù)字（ItherCAT，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485）或模擬（0-5 VDC或4-20 mA）I / O
· 標準閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的1.0％
· 少于750毫秒的建立時間
技術(shù)指標
控制范圍 | 滿量程的2％至100％ | 進氣壓力系數(shù) | <讀數(shù)的0.02％/ psi |
滿量程流量范圍 | 5-50000 sccm（相當于N2） | 典型建立時間 | <750毫秒，通常在滿量程的5％以上 |
入口壓力 | 150磅/平方英寸 | 熱身時間 | 30分鐘 |
正常工作壓力差 | 10至5000 sccm; 10至40 psid，10000至20000 sccm; 15至40 psid，30000至50000 sccm; 25至40 psid | 工作溫度 | 10°C至50°C |
耐壓 | 1000磅/平方英寸 | 儲存濕度 | 0至95％相對濕度，無凝結(jié) |
爆破壓力 | 1500磅/平方英寸 | 貯存溫度 | -20°至80°C |
典型精度 | 20％至100％滿量程時為設(shè)定值的±1％，2％至20％滿量程時為滿量程的±0.2％ | 外部泄漏完整性 | <1 x 10 -09（scc / sec He） |
重復(fù)性 | 讀數(shù)的±0.3％ | 封閉閥的泄漏完整性 | 在大氣壓力為40 psig時高達10K閥門 |
解析度 | 滿量程的0.1％ | 濕材料 | 316L SS VAR，316 SS，Elgiloy®，鎳，KM45 |
零溫度系數(shù) | <滿量程的0.05％/°C | 重量 | 3磅（1.4公斤） |
跨度溫度系數(shù) | <0.08％的讀數(shù)/°C | 合規(guī) | CE認證 |
特征
多種數(shù)字和模擬接口選擇
GM50A數(shù)字控制MFC具有模擬或數(shù)字I / O。數(shù)字控制電子器件采用的MKS控制算法，可在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點提供快速，可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時間約為500毫秒。GM50A的模擬和數(shù)字I / O可以輕松用來代替1179A MFC的相同I / O類型。所有GM50A均包含Modbus作為可用的輔助I / O（不包括PROFINET®和EtherCAT®）。
標準3英寸占地面積
GM50A利用MFC使用的標準3英寸占地面積，流量范圍為5sccm至50 slm，從而無需修改現(xiàn)有的氣體管線配置即可使用。
金屬密封
GM50A金屬密封MFC具有10 µ英寸電拋光316L表面光潔度，使該質(zhì)量流量控制器可用于高純度應(yīng)用。
設(shè)定值精度的百分比
附帶的數(shù)字校準可在全量程流量范圍的20％至100％的情況下使用N2校準氣體提供1％的設(shè)定點精度。設(shè)定點精度可實現(xiàn)精確的過程控制，相對于相對于滿量程的精度。當質(zhì)量流量為滿刻度的2至20％時，精度為滿刻度的±0.2％。
嵌入式用戶界面
嵌入式用戶界面提供了輕松更改設(shè)備范圍和用戶氣體的能力，從而減少了庫存需求。您還可以監(jiān)視MFC功能并就地收集性能數(shù)據(jù)。
溫度傳感器
經(jīng)過驗證的熱傳感器設(shè)計可提供出色的零穩(wěn)定性。美國號5461913。
