激光位移傳感器

激光位移傳感器CD5系列

半導(dǎo)體行業(yè)特別是半導(dǎo)體的核心晶圓片的生產(chǎn)，要求其厚度的平整精度以及切割的精度達(dá)到微米級以下，高精度激光測距（位移）傳感器CD5系列在此背景下研發(fā)成功。

高精度激光測距（位移）傳感器CD5分辨率高達(dá)0.37um，線性精度高達(dá)0.05% F.S.。

激光束穿過依靠音叉快速上下振動的物鏡聚集在目標(biāo)表面。 從目標(biāo)表面反射的光束匯集在小孔處，隨后進(jìn)入感光元件。 

激光測距（位移）傳感器通過測量物鏡在感光時的確切位置精確測出與目標(biāo)表面的距離，不會受到目標(biāo)材質(zhì)、顏色或角度的影響。

 激光位移傳感器技術(shù)參數(shù)

 激光位移傳感器使用特性

一：數(shù)字亞像素處理

激光位移傳感器CD5系列采用數(shù)字亞像素處理技術(shù)，可以將1個像素細(xì)分成65536個亞像素（256×256），使其線性精度比傳統(tǒng)位移傳感器提高了2倍以上。

高精度線性圖像傳感器, CD5的感光元器件采用高精度的線性圖像傳感器。與傳統(tǒng)位移傳感器相比，精度提高5倍，速度提高10倍。

高精度感光度修正，高分辨率的電子快門速度為采樣周期的1/485，因此有助于確保穩(wěn)定的受光量峰值狀態(tài)，自動優(yōu)化受光量，即使是不穩(wěn)定表面亦能保持穩(wěn)定檢測。

高速運算處理單元，實現(xiàn)高速度、高精度運算測量結(jié)，內(nèi)置CD5專用的高速運算處理單元。從線性圖像傳感器獲取的測量結(jié)果進(jìn)行迅速的修正失真/優(yōu)化/判定等處理，從而實現(xiàn)高速及高精度的檢測。

獨自算法，檢測半透明或表面不平的物體時會產(chǎn)生多重反射光，從而影響到受光波形的精確識別。Otpex-FA采用獨自算法解決這個問題。

正反射型激光位移傳感器CD5-L(W)25A/CD5-(W)30A/CD5-(W)85無需連接控制器亦可獨自測量玻璃的表面/背面，并可測量其厚度。

寬光斑型有效檢測粗糙表面，獲得較穩(wěn)定的高精度線性精度。

即使光束重疊也不導(dǎo)致測量誤差，防相互干擾功能即使不同感應(yīng)頭的光束發(fā)生重疊，或2臺感應(yīng)頭安裝位置較近時，也可保持穩(wěn)定的高精度測量。防相互干擾功能:max.2臺。

不僅CD5的感應(yīng)頭本體防護(hù)等級達(dá)到IP67，而且擴(kuò)展連接線連接器的防護(hù)等級也達(dá)到IP67，無需再做任何其他的防水措施。

 激光位移傳感器實例應(yīng)用

分辨率提高5倍

CD5系列的分辨率比普通位移傳感器高5倍，實現(xiàn)更高精度的測量。

同等級產(chǎn)品中精度

CD5系列實現(xiàn)同等級產(chǎn)品中測量精度的檢測物體的高度/厚度。

線性精度

通過線性精度的CD5-(W)85（±0.05%F.S.）檢測物體的寬度，實現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定性的測量。

超長檢測距離型

CD5-2000長距離檢測金屬滾軸的位置，實現(xiàn)工業(yè)自動化行業(yè)內(nèi)最長距離的檢測。

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：（鐘小姐）