| 測(cè)量項(xiàng)目 | |
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| 測(cè)量項(xiàng)目 | 點(diǎn)、直線、圓、部分圓、橢圓、圓弧處理（圓弧半徑、圓心距、圓心到直線的距離、 交點(diǎn)到圓心的距離等）、點(diǎn)、點(diǎn)、距離、角度處理（坐標(biāo)夾角、直線夾角）、 直線度、槽深、槽寬、溝邊距、溝心距、水平距、凸度（對(duì)數(shù)曲線）、輪廓度等參數(shù) |
| 測(cè)量范圍 | |
| X軸（橫導(dǎo)軌） | 100mm |
| Z1軸（傳感器） | 20mm |
| Z軸（立柱移動(dòng)距離） | 500mm |
| Z軸（立柱高度） | 400mm |
| 測(cè)量精度 | |
| X軸(L=X軸導(dǎo)軌移動(dòng)距離) | ±(1+2L/100) μm |
| Z1軸(H=Z1軸方向測(cè)量高度) | ±(1.8+3H/100) μm |
| X軸水平臂 | |
| 直線度 | 0.2μm /60mm |
| 光柵分辨率 | 0.1μm |
| 光柵產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
| Z1軸傳感器 | |
| 分辨率 | 0.02μm |
| 傳感器類型 | 電感傳感器 |
| 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
| 移動(dòng)方向 | 前/后 雙方向 |
| 測(cè)力 | 0.01-0.06N |
| 測(cè)針針尖 | 硬質(zhì)合金 R：0.05mm、0.01mm |
| 爬坡角度 | 上升77度 下降88度 |
| 速度 | |
| 測(cè)量速度 | 0.02mm/s,0.05mm/s,0.1mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,4.0mm/s(8個(gè)) |
| 定位速度 | 0.02mm/s,0.05mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,3.0mm/s,4.0mm/s(8個(gè)) |
| 圖形放大/縮小 | |
| 圖形放大 | 可任意縮小、放大 |
| 綜合調(diào)整臺(tái) | |
| A型綜合調(diào)整臺(tái) | X軸水平傾斜調(diào)整范圍：±30°，Y軸方向調(diào)整范圍：±7.5mm，Z軸回轉(zhuǎn)可調(diào)360度（帶微調(diào)裝置） |
| B型綜合調(diào)整臺(tái) | X軸水平傾斜調(diào)整范圍：0-60°，Yθ1：0-1.5度，Zθ1：0-2.5度，Zθ2：0-1.5度 |
| 安裝要求 | |
| 電源 | 220-240V AC, 50HZ，單獨(dú)地線；功率消耗450W |
| 壓縮空氣 | 純凈壓縮空氣：氣壓0.4MP，消耗0.1m3 /min （氣源供給0.6MP，0.25m3 /min以上） |
| 環(huán)境要求 | 工作溫度：10°-30°（常溫）；濕度20-80%RH（無(wú)結(jié)露），良好地線，無(wú)明顯振源 |
