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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

掃描電鏡等離子清洗機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱華儀行(北京)科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/8/6 9:03:11
  • 訪問次數(shù)293
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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CIF來(lái)源于美洲,服務(wù)于中國(guó),是一家集實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備研發(fā)、制造、銷售、服務(wù)、產(chǎn)品應(yīng)用為一體的專業(yè)化集團(tuán)公司,在半導(dǎo)體技術(shù)和無(wú)機(jī)樣品前處理技術(shù)領(lǐng)域?yàn)榭蛻籼峁?的、高品質(zhì)的實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備和應(yīng)用工藝解決方案。CIF中國(guó)總部坐落于北京國(guó)際企業(yè)孵化中心(IBI),系國(guó)家j。CIF中國(guó)公司具有自主進(jìn)出口權(quán),企業(yè)通過 ISO9001-2008質(zhì)量管理體系認(rèn)證,全系列產(chǎn)品通過CE認(rèn)證,并獲得多項(xiàng)國(guó)家專l。
CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程、原位雙等離子清洗源設(shè)計(jì),并可自動(dòng)切換,一機(jī)多用。遠(yuǎn)程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷,同時(shí)可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑?。主要參?shù):CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程、原位雙等離子清洗源設(shè)計(jì),并可自動(dòng)切換,一機(jī)多用。遠(yuǎn)程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷,同時(shí)可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用......
掃描電鏡等離子清洗機(jī) 產(chǎn)品信息

圖片5.jpg


產(chǎn)品特點(diǎn)

雙等離子清洗源

一機(jī)多用

高效低損傷

 

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)

CIF-SEM

法蘭接口

KF40

工作氣壓

0.3-3Pa

等離子電源

13.56MHz射頻電源,射頻功率5-100W可調(diào),自動(dòng)匹配器

氣體控制

標(biāo)配雙路50毫升/分氣體質(zhì)量流量控制器(MFC),精確測(cè)量自動(dòng)控制氣體流量,不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據(jù)需求可選擇氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣等多種清洗氣源

真空控制

美國(guó)MKS公司925-12010皮拉尼真空計(jì),測(cè)量范圍1E-5Torr

真空保證

真空計(jì)和電磁閥安全互鎖

操控方式

7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動(dòng)操作界面

電源/功率

220V,50/60Hz,300W

可選配件

可選氧氣、氮?dú)?、氫氣發(fā)生器, 氫氣純度﹥99.999%,輸出流量0-300ml/min 

質(zhì)量保證

二年質(zhì)保,終身維護(hù)


15168338725
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