■操作性·功能 
●射頻13.56Mhz0-300W高功率機型，發(fā)生器自動匹配，無需調(diào)節(jié)反射波，進一步增加的操作的便捷性。 
●標準配備數(shù)字式皮拉尼傳感器，實時顯示真空度，使得控制更為精確。 
●平行平板腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無需擔(dān)憂因為腔體材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?nbsp;
■安全性·保護 
●裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈，可實時監(jiān)測和了解機器的運轉(zhuǎn)狀態(tài)。 
●裝載有過電流漏電保護開關(guān)、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。 
■產(chǎn)品優(yōu)勢 
●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應(yīng)用范圍廣。 
●對清洗樣品，沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。 
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。 
●高效的特制電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。 
●特制電極和托盤結(jié)構(gòu)，可保證樣品可得到全面有效的清洗。