| 設(shè)備名稱與型號 | 單靶磁控等離子濺射儀VTC-16-D |
| 特點 | · 體積小巧，操作簡單，易上手 · 擁有小型磁控靶頭，可以鍍金、銀、鉑等金屬 |
| 基本參數(shù) | ·輸入電源：220V，50/60HZ · 功率：＜1000W · 濺射電流：0-80mA可調(diào) · 輸出電壓：DC 500V |
| 濺射腔室 | · 石英腔室尺寸：外徑φ166mm×內(nèi)徑φ150mm×高150mm · 采用氟膠O型圈密封 · 法蘭蓋上安裝了一個可手動操作的擋板，用于靶材的預濺射。一個φ6.35的卡套接頭為進氣口，用于連接進氣管。一個手動放氣閥用于往石英腔體內(nèi)部充入空氣。 · 一個不銹鋼網(wǎng)罩罩住整個石英腔體，以屏蔽等離子體
·通過調(diào)節(jié)殼體右側(cè)的微量精密調(diào)節(jié)閥控制進入石英腔體內(nèi)部工作氣體的流量，從而達到調(diào)節(jié)腔體內(nèi)部的真空度 · 通過調(diào)節(jié)殼體右側(cè)的電位器，實現(xiàn)對濺射電流大小的控制。
|
| 靶頭與靶材 | · 一個2英寸不帶水冷的磁控濺射靶頭 ，磁控濺射靶頭的使用溫度為80度，超過80度磁控靶頭會失去磁性而不能工作。 · 濺射時間 :1-120s可調(diào) · 標配一塊銅靶 · 靶材尺寸要求：φ2″*（0.5-5）mm厚度 · 適合濺射Au,Ag,Cu,等金屬（可在我公司選購） |
| 樣品臺 | · 一個上下高度可調(diào)的樣品臺，樣品臺與靶材之間的可調(diào)距離為25-70mm · 樣品臺尺寸：φ2英寸 · 樣品臺可以選配加熱功能，加熱溫度500度；
|
| 皮拉尼真空計 | · 測量范圍：1*10-4 mbar—1000 mbar（1*10-4—750 torr） · 準確度：1000mbar—20 mbar（讀數(shù)的30%） 20—0.002mbar （讀數(shù)的2%） · 重復性：20—0.002mbar （讀數(shù)的2%） · 使用濕度：30℃環(huán)境下≤80% 40℃環(huán)境下≤50%無冷凝氣體； · 使用溫度：5℃—60℃
|
| 薄膜測厚儀（選配） | · 一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上，可實時監(jiān)測薄膜的厚度，分別率為0.10 ? · LED顯示屏顯示，同時也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)
|
| 真空系統(tǒng)（選配） | · 型號：VRD-8 · 抽氣速率：2.2 L/S · 電機功率：370 W · 極限壓強：5×10-1Pa（不帶負載） · 實際壓強：≤5 Pa（冷態(tài)下機械泵抽20分鐘） · 如果想要獲得更高的真空度（10-5toor or better）可選購國產(chǎn)或進口高真空機組
|
| 設(shè)備使用要求 | · 為了達到理想的薄膜厚度，可進行多次濺射鍍膜 · 在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材，基片和樣品臺的潔凈 · 需要達到薄膜與基底良好結(jié)合，則在濺射前清潔基材表面 |
| 外形尺寸 | 500*350*550mm（長*寬*高）
|
| 重量 | 約20KG（不包含真空泵、水冷設(shè)備） |
| 質(zhì)保 | · 一年保修，終身技術(shù)支持 1、耗材部分入加熱元件、石英管、樣品坩堝等不包含在保修范圍內(nèi) 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成損壞不在保修范圍內(nèi) |
合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年，是合肥物質(zhì)科學研究院的下屬企業(yè)。（更多內(nèi)容請點擊“企業(yè)展示中心”） 公司目前主要從事氧化物晶體（A-Z）系列材料研發(fā)生產(chǎn)、濺射靶材制備和材料實驗室及電池研發(fā)全套設(shè)備。公司從成立之初研發(fā)高溫超導薄膜基片大尺寸LaAlO3單晶做起，目前MgAlO4、NdGaO3、LSAT、3英寸LaAlO3等晶體是行業(yè)供應商。設(shè)備研發(fā)的各種高溫爐，大尺寸高溫高壓爐，熱等靜壓爐，單晶生長爐等，用于石墨烯、高通量、蒸發(fā)鍍膜、高溫超導薄膜、超導塊材和線材的制備設(shè)備，涉及新能源材料，電池制備等成套設(shè)備，并為科研工作者提供材料研究解決方案，已經(jīng)成為企業(yè)。（更多內(nèi)容請點擊“根據(jù)應用尋找設(shè)備”） 公司先后被認定為國家“企業(yè)”，安徽省企業(yè)技術(shù)中心，安徽省“專精特新”企業(yè),合肥市工業(yè)設(shè)計中心等榮譽稱號；公司材料實驗室被認定為安徽省光電晶體材料裝備技術(shù)工程研究中心。產(chǎn)品遠銷美國斯坦福、麻省理工學院、哈佛大學、英國牛津大學，新加坡國立大學等世界所有高校、蘋果、惠普、巴斯夫、特斯拉等國際公司，以及國內(nèi)985、211高校、中科院物理所、核能所等高?？蒲性核彩俏夜局覍嵱脩簟＃ǜ鄡?nèi)容請點擊“客戶案例”） 公司自成立以來，十分重視科技創(chuàng)新和產(chǎn)學研合作工作，尤其是把“納天錫人士，鑄科晶偉業(yè)”作為重要工作來抓，董事長江曉平博士親自帶領(lǐng)一支高素質(zhì)和強大創(chuàng)造力的高水平人才團隊，并與合肥物質(zhì)科學研究院等高?？蒲性洪_展緊密的產(chǎn)學研合作，全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌，竭力為科學進步和社會發(fā)展作出貢獻?？凭гO(shè)備公司自2002年涉足材料制備研發(fā)設(shè)備，十多年來不斷追求產(chǎn)品品質(zhì)，力求精益求精。從混料球磨、壓片成形、高溫燒結(jié)到樣品切割、磨拋成相，再到薄膜制備和電池制備，公司不斷研發(fā)制造用于材料制備的全套解決方案，全面滿足各領(lǐng)域產(chǎn)品制備需求，努力為客戶打造一站購齊式服務(wù)體驗?？凭Ьw與材料1997年公司成立之初，主要研發(fā)生產(chǎn)超導基片。經(jīng)過二十三年的發(fā)展，目前自主研發(fā)的MgAlO4、NdGaO3、LSAT、3英寸LaAlO3等晶體是世界供應商。從晶體到靶材、薄膜，再到蒸發(fā)料、粉料、金屬絲箔及納米材料，上千種材料的豐富供給，構(gòu)建起行業(yè)的科研材料產(chǎn)品體系。需求全套解決方案為客戶提供產(chǎn)品的成套解決方案，全工藝鏈的產(chǎn)品以及非標定制方案，努力為客戶提供一站購齊式服務(wù)。另外還為客戶提供實驗室解決方案，幫助客戶制定實驗室規(guī)劃，與輔助設(shè)備建議。應用技術(shù)實驗室安徽省級企業(yè)技術(shù)中心，是一個集材料制備、樣品檢測及技術(shù)服務(wù)于一體的多功能共享實驗室，客戶可以使用科晶實驗室進行材料制備及檢測、工藝探索和應用技術(shù)交流，同時實驗室團隊可以為客戶提供工藝培訓，實習，實驗代加工，聯(lián)合項目等多種服務(wù)項目。售后維修從產(chǎn)品支持到售后保障，科晶公司專業(yè)的售后服務(wù)團隊全年不間斷的為客戶提供線上，線下維修服務(wù)，全面保證客戶設(shè)備的正常使用，做到購買產(chǎn)品，終身維護。實驗安全科晶重視客戶的實驗安全，針對一線設(shè)備使用的科研人員，提供全公益性質(zhì)的線上或線下，標準或定制的設(shè)備與藥品技術(shù)支持與培訓，以及針對性的安全相關(guān)設(shè)備開發(fā)。
管式爐選型
單靶磁控等離子濺射儀 產(chǎn)品信息
