探針式輪廓儀/臺階儀/Alpha-Step D-600 Stylus Profiler
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的臺階高度測量與三維形貌測量。D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和薄膜應(yīng)力的測量。 D-600配置200毫米自動移動樣品臺與*的Keystone矯正的輔助光學系統(tǒng)
產(chǎn)品描述
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的二維與三維測量，以及翹曲度和薄膜應(yīng)力的測量。創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量，大范圍測量與超微力測量于一體的功能。
探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān)?？烧{(diào)節(jié)的探針壓力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行精確測量。通過測量粗糙度和應(yīng)力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。
主要功能
臺階高度：幾納米至1200μm
低觸力：至15mg
視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭
梯形失真校正：消除側(cè)視光學系統(tǒng)引起的失真
圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
緊湊尺寸：占地面積小
軟件：用戶友好的軟件界面
主要應(yīng)用
臺階高度：2D臺階高度和3D臺階高度
紋理：2D粗糙度和波紋度
形式：2D翹曲和形狀
應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力
工業(yè)應(yīng)用
大學，研究實驗室和研究所
半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體
SIMS：二次離子質(zhì)譜
LED：發(fā)光二極管
太陽能
MEMS：微電子機械系統(tǒng)
汽車
醫(yī)療設(shè)備
更多應(yīng)用：請與我們聯(lián)系并探討您的需求
