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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

1英寸高真空磁控濺射頭HVMSS-SPC-1-LD

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地沈陽(yáng)市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/6/30 19:51:19
  • 訪問(wèn)次數(shù)137
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司是由畢業(yè)于美國(guó)麻省理工學(xué)院的江曉平博士于2000年5月創(chuàng)建。與合肥科晶材料技術(shù)有限公司、深圳市科晶智達(dá)科技有限公司同屬于科晶聯(lián)盟。自SYJ-150低速金剛石切割機(jī)誕生以來(lái),沈陽(yáng)科晶便開(kāi)始了以趕超國(guó)外同行、材料分析設(shè)備潮流為目標(biāo)的發(fā)展歷程。時(shí)至今日,已經(jīng)擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結(jié)、分析等領(lǐng)域以及相關(guān)耗材的上百種產(chǎn)品,可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復(fù)合材料、生物材料等制備分析的全套需要。  沈陽(yáng)科晶立足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)實(shí)際情況,以提供實(shí)用的產(chǎn)品為己任。產(chǎn)品的質(zhì)量、精度在向國(guó)外企業(yè)看齊的基礎(chǔ)上,產(chǎn)品的價(jià)格定位卻僅僅是其幾分之一。的性價(jià)比不僅吸引了眾多國(guó)內(nèi)客戶,而且令挑剔的外國(guó)客商也稱贊不已,產(chǎn)品遠(yuǎn)銷于印度、馬來(lái)西亞、土耳其、波蘭、突尼斯、澳大利亞等國(guó)家,并大量出口于美國(guó)?! ∩蜿?yáng)科晶一直致力于高等院校、研究所、生產(chǎn)企業(yè)的科研服務(wù),即產(chǎn)品定位于研究市場(chǎng),主要面向廣大高等院校、科研機(jī)構(gòu)、實(shí)驗(yàn)室以及工廠的小規(guī)模生產(chǎn)。多年以來(lái),已與全國(guó)眾多高校、研究院所建立了良好的合作、服務(wù)關(guān)系。其中北京大學(xué)、清華大學(xué)、浙江大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、東北大學(xué)等高校,金屬研究所、上海硅酸鹽研究所、中國(guó)科學(xué)地質(zhì)與地球物理研究所等科研機(jī)構(gòu),中國(guó)航天工業(yè)集團(tuán)公司、中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司、攀鋼集團(tuán)有限公司等企業(yè)都是長(zhǎng)期合作的榮譽(yù)客戶?! ∩蜿?yáng)科晶為了更好地服務(wù)客戶,專門設(shè)立了開(kāi)放式專業(yè)實(shí)驗(yàn)室,配備了優(yōu)秀的專業(yè)技術(shù)人員。在這里,不僅可以提供親身的產(chǎn)品體驗(yàn)環(huán)境,而且還可得到專業(yè)人員的操作指導(dǎo)。開(kāi)設(shè)以來(lái),制作的樣品達(dá)上千件,接待來(lái)訪客戶參觀百余次,其中包括多次外國(guó)友人的來(lái)訪。在此,沈陽(yáng)科晶全體員工誠(chéng)摯地歡迎您的到來(lái),并希望您能提出寶貴的意見(jiàn)與建議。此外,沈陽(yáng)科晶擁有優(yōu)質(zhì)、高效、專業(yè)的銷售咨詢、售后服務(wù)團(tuán)隊(duì),能夠?yàn)槊恳晃豢蛻籼峁┎少?gòu)建議與方案、完善的使用指導(dǎo)與售后服務(wù)。使每一位客戶的需求得到滿足是沈陽(yáng)科晶每個(gè)員工不懈努力的目標(biāo)?! ∩蜿?yáng)科晶一路走過(guò)的歷程,是為我國(guó)材料研究事業(yè)全力貢獻(xiàn)的歷程,是以實(shí)際行動(dòng)將自己打造成國(guó)內(nèi)材料分析設(shè)備品牌的歷程,是與國(guó)外同行不斷縮小差距的歷程,是與廣大客戶相扶相持的成長(zhǎng)歷程。雖一路充滿坎坷與荊棘,但堅(jiān)持不懈的沈陽(yáng)科晶人仍全力以赴的前行。秉承這份堅(jiān)持,相信在不久的將來(lái),沈陽(yáng)科晶也將會(huì)成為國(guó)際市場(chǎng)上專業(yè)的、杰出的材料分析設(shè)備品牌,沈陽(yáng)科晶的明天會(huì)更加燦爛輝煌。
1英寸高真空磁控濺射頭HVMSS-SPC-1-LD
1英寸高真空磁控濺射頭HVMSS-SPC-1-LD 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:1英寸高真空磁控濺射頭HVMSS-SPC-1-LD主要適用于我公司制造的VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀、VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀,該磁控濺射頭可安裝直徑為1"的靶材??膳c直流、脈沖直流和射頻電源相匹配,因此可濺射各種靶材,如金屬靶材(如金、銀、銅等材料)、絕緣靶材(如陶瓷靶材、氧化物靶材、聚四氟乙烯靶材等)、磁性靶材、非磁性靶材等。采用高真空的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可提高鍍膜質(zhì)量。1英寸高真空磁控濺射頭HVMSS-SPC-1-LD配裝有環(huán)形NdFeB永磁體在濺射頭上,以保證濺射鍍膜的效率和薄膜在樣品表面分布的均勻性。

 

產(chǎn)品型號(hào)

1英寸高真空磁控濺射頭HVMSS-SPC-1-LD

主要特點(diǎn)

1、采用高質(zhì)量的不銹鋼和陶瓷材料制作。

2、采用電磁場(chǎng)的有元計(jì)算法來(lái)設(shè)計(jì)永磁體,以得到較高的磁場(chǎng)強(qiáng)度和均勻分布。

3、磁體表面涂有保護(hù)層,以防止冷卻水的腐蝕,延長(zhǎng)其使用壽命。

4、標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭,可與DCRF電源相匹配。

5、安裝采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭,便于操作。

6、靶材更換較為簡(jiǎn)單,無(wú)需調(diào)整濺射頭的高度。

7、配有銅靶1塊。

技術(shù)參數(shù)

1、濺射頭直徑:Ø46.3mm

2、所用靶材:直徑1"±0.02"(25.4mm),厚度1/8"(3mm        

3、磁環(huán):NdFeB稀土永磁體

4、柄桿直徑:外徑3/4"

5、電路接頭:標(biāo)準(zhǔn)HN型接頭,可與DCRF電源相匹配

6、所需功率:DC250W,RF100W

7、陰極濺射電流:3A

8、陰極濺射電壓:200V-1000V

9、工作壓力范圍:1mtorr-1torr

10、濺射厚度均勻性:采用磁控濺射在氧化非晶硅片上沉積一個(gè)20nm的薄膜,直流功率150W,真空環(huán)境

                                       10mtorr1"銅靶,與基片距離75mm

                                       

11、水冷卻:水管接頭為外徑0.25"快插頭,所需水流量1/2GPM,進(jìn)水溫度<20

                       

12、高真空快速接頭:為贈(zèng)送品,數(shù)量1個(gè),內(nèi)徑為0.75",可將濺射頭安裝在真空腔體上,真空腔體上的安裝

             孔直徑為1",真空腔體的壁厚不得大于1"

                                       

13、傾斜裝置:濺射頭相對(duì)于柄桿可傾斜±45?,設(shè)有刻度線,可觀察到靶頭傾斜的角度

                         

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:14"355.6mm);重量:1.36kg

可選配件

1、循環(huán)水冷機(jī),流量為16L/min,水箱容積為6L。

2、100W小型手動(dòng)匹配型射頻電源RF-100-LD,可自行搭建濺射鍍膜儀。

主要應(yīng)用

在真空腔體中HVMSS-SPC-1-LD磁控濺射頭可制作各種薄膜,應(yīng)用如下:

薄膜涂覆、半導(dǎo)體器件、磁記錄介質(zhì)、超導(dǎo)薄膜、量子計(jì)算器件、MEMS、生物傳感器、納米技術(shù)、超晶格、顆粒膜、記憶合金、組合薄膜沉積、光學(xué)薄膜

關(guān)鍵詞:傳感器
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