超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus8100
"Regulus系列"是日立的FE-SEM的全新品牌,包括作為SU8010的后續(xù)機型開發(fā)的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升級 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240",共4個機型,均實現(xiàn)了分辨率和操作性的強化。
掃描電子顯微鏡(SEM)被廣泛應用于納米技術(shù),半導體?電子行業(yè),生命科學,材料科學等領(lǐng)域的材料結(jié)構(gòu)觀察。近年來,新一代的電子器件應用中受到廣泛期待的新型碳材料,高分子材料,復合材料等的研究作為*科學技術(shù)的中堅技術(shù),在范圍內(nèi)受到熱捧。掃描電子顯微鏡廣泛用于這些材料的觀察?評價,但僅僅具有超高分辨率還遠遠不夠。還要求能在低加速電壓下對表面細微結(jié)構(gòu)的觀察和高靈敏度的元素分析。除此之外,在長期的研究過程中還追求電鏡的性能的持續(xù)穩(wěn)定和信賴性。