一、技術(shù)原理：  

（1）高溫金屬靶材制備蒸鍍鍍膜儀，臺(tái)式設(shè)計(jì)、軟件自動(dòng)操控、高性價(jià)比，非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用。  

（2）通過(guò)加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱為熱蒸發(fā)鍍膜，熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史最悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖。  

二、真空度越高越不易氧化越接近金屬本色：  

★玻璃鐘罩真空腔室，最直觀的蒸發(fā)狀態(tài)和薄膜沉積現(xiàn)象觀察；  

★復(fù)合分子泵和直聯(lián)旋片泵，大抽速準(zhǔn)無(wú)油真空系統(tǒng)（分子泵抽速≥400L/S）；

★兩組水冷式蒸發(fā)電極，可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作，兼容金屬材料與有機(jī)材料的蒸發(fā)源設(shè)計(jì)；

★專業(yè)真空蒸發(fā)電源，數(shù)顯工作電流和電壓，恒流輸出；  

★可定制一體化高精度刻蝕掩膜板；  

★襯底可選擇加熱或水冷，源基距≥300mm；  

★可調(diào)速旋轉(zhuǎn)靶臺(tái)使薄膜更均勻；  

★可沉積金屬（Au,Ag,Al,Ca,Cu,Mg,Fe,Cr,Ni等）、非金屬、化合物（MoO3,LiF等）及有機(jī)物材料，可拓展沉積單層膜、多層膜及混合膜；  

★7寸顯示器定時(shí)定點(diǎn)調(diào)節(jié)電流，達(dá)到控制功率效果；  

★具有記憶儲(chǔ)存功能，直接調(diào)出已儲(chǔ)存的數(shù)據(jù)進(jìn)行鍍膜達(dá)到同樣工藝效果；  

★配置了靶臺(tái)擋板，可手動(dòng)調(diào)節(jié)或自動(dòng)調(diào)節(jié)擋板，及時(shí)遮擋樣品，保證樣品效果；

三、技術(shù)支持&服務(wù)：  

1.技術(shù)支持：在合同簽訂之前，我們的專業(yè)工程師會(huì)在充分了解客戶需求的前提下，為客戶做出*的選型和方案設(shè)計(jì)，使客戶充分了解并理解產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)、性能用途、使用場(chǎng)合、安全注意事項(xiàng)等，以幫助客戶做出正確的選擇。

2.安裝與培訓(xùn)：在產(chǎn)品使用前，我們會(huì)派專業(yè)工程師為您提供現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)支持、培訓(xùn)及演示服務(wù)。  

3.產(chǎn)品質(zhì)保：我們對(duì)產(chǎn)品提供12個(gè)月的質(zhì)保期，在質(zhì)保期內(nèi)發(fā)生設(shè)備或配件損壞由公司負(fù)責(zé)賠償或免費(fèi)維修。（耗材和易損件除外）  

4.終身維護(hù)：我們對(duì)提供的產(chǎn)品提供終身服務(wù)，對(duì)于超過(guò)質(zhì)保期限的維修、維護(hù)僅收取材料費(fèi)，免除一切人工費(fèi)用。

以下是不同真空度 不同鍍膜時(shí)間鍍銅樣品圖

  原樣品沒(méi)有鍍膜                        115A 100秒 機(jī)械泵

115A 100秒 分子泵抽12分鐘      115A 120秒 分子泵抽20分鐘

四、高溫金屬靶材制備蒸鍍鍍膜儀技術(shù)資料：