等離子廢氣凈化器是一種干法處理廢氣的凈化設(shè)備，它采用低溫等離子體技術(shù)分解廢氣，無(wú)原料消耗，不產(chǎn)生二次污染，日常維護(hù)保養(yǎng)簡(jiǎn)便，是一種新型的廢氣處理設(shè)備。廣泛適用于噴涂廢氣、印刷廢氣、化工廢氣、制革業(yè)廢氣、塑膠造粒廢氣、垃圾中轉(zhuǎn)站廢氣、污水處理廠廢氣等各類工業(yè)廢氣的凈化處理。
等離子廢氣凈化器主要采用脈沖高頻高壓等離子體電源和雙介質(zhì)齒板放電裝置，放電形式產(chǎn)生高濃度離子。等離子體是一種聚集態(tài)物質(zhì)，其所擁有的高能電子能在毫秒級(jí)的時(shí)間內(nèi)，瞬間擊穿空氣和廢氣分子，發(fā)生一系列分化裂解反應(yīng)，產(chǎn)生高濃度、高強(qiáng)度、高能量的活性自由基和各種電子、離子等，在與機(jī)廢氣中的分子碰撞時(shí)會(huì)發(fā)生一系列基元物化反應(yīng)，并在反應(yīng)過程中產(chǎn)生多種活性自由基和生態(tài)氧，即臭氧分解而產(chǎn)生的原子氧。
工作原理：等離子廢氣凈化器采用高壓發(fā)生器形成低溫等離子體，等離子體是繼氣態(tài)、液態(tài)、固態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)。當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)。等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子，使污染物分子在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。在平均能量約5eV的大量電子作用下，通過凈化器的苯、甲苯、H2S、CS2、SO2等有機(jī)廢氣分子轉(zhuǎn)化成各種活性粒子，與空氣中的O2結(jié)合生成H2O、S、CO2等低分子無(wú)害物質(zhì)，使廢氣得到凈化。
等離子體化學(xué)反應(yīng)過程中，等離子體傳遞化學(xué)能量的反應(yīng)過程中能量的傳遞大致如下：
①電場(chǎng)＋電子→高能電子
②高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團(tuán)、游離基團(tuán)) 活性基團(tuán)
③活性基團(tuán)＋分子(原子)→生成物+熱
④活性基團(tuán)＋活性基團(tuán)→生成物+熱
從以上過程可以看出，電子首先從電場(chǎng)獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時(shí)有部分分子被電離，從而成為活性基團(tuán)；之后這些活性基團(tuán)與分子或原子、活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強(qiáng)的物質(zhì)俘獲，成為負(fù)離子。這類負(fù)離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。
