特點(diǎn)
緊湊型設(shè)計(jì),分辨率為4 nm*1
通過(guò)高靈敏度二次電子探測(cè)器,背散射探測(cè)器,低真空探測(cè)器(UVD*2),實(shí)現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀(guān)察
操作簡(jiǎn)捷,即使新手也能拍出高質(zhì)量的圖片
新開(kāi)發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」,便于快速鎖定視野
大窗口(30 mm2)SDD能譜系統(tǒng),便于快速分析元素成分*2
規(guī)格
項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
分解能*3 | 4.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式) |
加速電壓 | 0.3 kV ~ 20 kV |
放大倍率 | 6× ~ 300,000× (底片倍率) |
低真空模式 | 真空范圍:6 ~ 100 Pa |
電子槍 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 |
樣品臺(tái) | 3-軸自動(dòng)馬達(dá)臺(tái) |
樣品尺寸 | 直徑80 mm |
樣品高度 | 40 mm |
尺寸 | 主機(jī):450(W) x 640(D) x 670(H) mm |
探測(cè)器選配 | · 高靈敏度低真空二次電子探測(cè)器(UVD) · 能量分散型X線(xiàn)探測(cè)器(EDS) |