Themis S S/TEM 用于半導(dǎo)體的優(yōu)勢包括：
- 高分辨率和高通量分析的較佳組合。透鏡配置使其僅在 Themis 上可用。它可提供較佳的圖像分辨率和較高的能譜效率。
- 極值得信賴的測量精確度。由于存在 ≤2% 的測量不確定性，在關(guān)鍵尺寸測量應(yīng)用中可提供可信任、可重復(fù)性和一致性。
- 較強的多功能性。光學(xué)器件、化學(xué)檢測、寬間隙極靴和應(yīng)用軟件的結(jié)合可確保平臺覆蓋能夠涵蓋廣泛的應(yīng)用。
較快獲得結(jié)果
Themis S S/TEM 將壓電工作臺和漂移校正幀 (DCFI) 結(jié)合使用以補償可能的樣品漂移，從而能夠較快獲取數(shù)據(jù)。如此，僅在上樣后數(shù)分鐘內(nèi)即可在 TEM 和 STEM 模式中采集高質(zhì)量、高分辨率圖像。
提高生產(chǎn)率
為了優(yōu)化生產(chǎn)率，Themis S S/TEM 使用雙線圈恒定功率透鏡來盡量減少熱漂移并盡量提高系統(tǒng)通量。這種設(shè)計可以消除在不同模式之間切換時的鏡頭熱變化，例如從低倍鏡模式切換進行特征搜索，以及從高倍鏡模式切換進行成像。
