iXL 高性能干式真空泵機(jī)組

iXL 系列干泵滿足 平板顯示器 (FPD)、半導(dǎo)體和太陽能制造市場 領(lǐng)域涉及的所有排氣要求。

這些性能的 泵旨在限度地提高基板吞吐量，同時盡可能降低功耗、 占地面積和重量。此外，大修間隔期內(nèi)無須 維護(hù)。

iXL120：緊湊型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應(yīng)用。它可 快速抽空負(fù)載鎖定艙室，能耗極低。可 用于負(fù)載鎖定和清潔應(yīng)用的最小且最輕的泵之一。 其低振動和低噪聲級的優(yōu)點使其適合于安裝在機(jī)臺上或 工廠的夾心層中，從而有助于節(jié)省寶貴的工廠地面空間。環(huán)保 模式可在空閑期間降低設(shè)備使用率，從而降低使用成本， 有助于保護(hù)環(huán)境。