特點：
1、斐索型系統(tǒng)保證精密測量
2、創(chuàng)XIN算法提供在振動環(huán)境中也能進行可靠的測量
3、圖像界面，易于生產線上操作
4、工業(yè)級Metropro③軟件
規(guī)格參數：
| 測量功能： | 精密測量各種反射面和光學系統(tǒng)的表面面形、 精密測量光學系統(tǒng)的傳輸波前 |
| 測量技術： | QPSI快速機械相移模式和傳統(tǒng)的機械相移干涉模式（PSI） |
| 校準系統(tǒng)： | 快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點定位于十字線) |
| 測量光束直徑： | 4″（102mm）或6″（152mm） |
| 對準視場范圍FOV： | 4″：±3°；6″：±2°； |
| 光學中心線： | 4.25″（108mm） |
| 激光光源： | 大功率穩(wěn)頻氦-氖激光，III |
| 波長： | 633 nm |
| 頻率穩(wěn)定度： | < 0.0001 nm |
| 相干長度： | ＞100m |
| 成像分辨率： | 1024 x 1024像素 |
| 幀速： | 100Hz（PSI） |
| 數據采集時間： | 130-300ms |
| 數據模式： | 8位 |
| 放大： | 電控1-5X |
| 偏振： | 接近圓偏振（1.2：1或者更好） |
| 光曈調焦范圍： | 4″：±2.5m；6″：±5.5m； |
| 計算機和軟件： | 高性能DELL PC，Windows7，64位， ZYGO軟件 MetroproTM 9和MetroproTM X（2） |
| 安裝構造： | 水平臥式或垂直立式 |
| 附件 | 詳細參考ZYGO激光干涉儀附件向導文件，OMP-0463 |
| 尺寸(長x寬x高) | 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)； 6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.） |
| 重量 | 4″:≤85lb（38Kg）；6″:≤100lb（45Kg） |
| 電源 | 100-240VAC，50/60Hz |
工作環(huán)境
| 溫度： | 15°C - 30°C (59°F - 86°F) |
| 溫度變化率： | ＜1.0°C/15min |
| 濕度： | 相對濕度5% - 95% , 無凝結 |
| 隔振： | QPSI模式可以在振幅不超過150nm的震動環(huán)境下進行測量； 機械移相測量模式推薦使用被動隔振系統(tǒng)。 |
性能參數
| RMS重復性（3）： | < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ) |
| RMS波前重復性（4）： | < 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ) |
| 像素峰值偏差(5)： | < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %) |
兩種模式下測試有振動的腔
PSI模式 13位計算法 QPSI模式 5ms快門速度
注：
1、給出的環(huán)境參數是指可以操作使用的環(huán)境，不代表儀器要達到性能所需要的環(huán)境要求。
2、僅在MetroProX軟件中有QPSI測量模式。
3、簡單RMS重復性定義為對一個4英寸平面短腔，做36次連續(xù)測量
（每次16次相位平均），所測得的RMS的標準差的2倍。
4、波前RMS重復性定義為，把測得的均方根差的平均值加上標準差的2倍作為波前RMS重復性。
其中標準差定義為把奇數次測量的均值作為參考值，而把偶數次測量值相對于此均值求得
標準差；計算基于36次連續(xù)測量（每次16次相位平均）。
5、像素峰值偏差:定義為對于36次連續(xù)測量（每次16次相位平均），取圖像峰值標準差的 99.5%；
這個結果測量系統(tǒng)隨時間變化的行為（或者A類不確定性）。
