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廣電計(jì)量檢測集團(tuán)股份有限公司

混氣管式PECVD系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱河南順博熱處理設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號S-1200PC-H
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/3/16 12:35:05
  • 訪問次數(shù)164
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河南熱處理設(shè)備有限公司是一家專業(yè)從事熱處理產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、制造、銷售、服務(wù)于一體的。公司產(chǎn)品涵蓋箱式爐、高溫管式爐、氣氛爐、箱式馬弗爐、CVD系統(tǒng)、PECVD設(shè)備、牙科爐、升降爐、真空爐、定制爐型等,廣泛用于粉末冶金、真空釬焊、陶瓷燒結(jié)、新能源材料研發(fā)、金屬光亮處理、零部件退火、科學(xué)研究等多個(gè)領(lǐng)域。多年來公司堅(jiān)持以客戶需求為導(dǎo)向,致力于不斷提高產(chǎn)品品質(zhì)和完善技術(shù)服務(wù),憑借過硬的技術(shù)、豐富的實(shí)踐積累,先后研發(fā)出了一系列具有水準(zhǔn)的實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)爐。電爐擁有完整、科學(xué)的質(zhì)量管理體系,標(biāo)準(zhǔn)化的生產(chǎn)制造車間,具有年產(chǎn)1000臺電爐生產(chǎn)制造能力,生產(chǎn)規(guī)模位居,是國內(nèi)具有影響力的實(shí)驗(yàn)電爐、工業(yè)爐生產(chǎn)制造商。公司目前有一線員工百余人,多名專業(yè)熱工技術(shù)工程師和設(shè)計(jì)制造工程師, 并聯(lián)合多所重點(diǎn)科研院校共同建立了多個(gè)技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目,為每一位客戶提供高技術(shù)含量的產(chǎn)品解決方案和優(yōu)質(zhì)的服務(wù)是電爐所有人的神圣職責(zé)!
真空馬弗爐
混氣管式PECVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)子流量計(jì)、射頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)組成PECVD設(shè)備是借助于光放電等方法產(chǎn)生等離子體,
混氣管式PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息
產(chǎn)品結(jié)構(gòu):
混氣管式PECVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)子流量計(jì)、射頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)組成
PECVD設(shè)備是借助于光放電等方法產(chǎn)生等離子體,光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡單。
軟件控制系統(tǒng):該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況,爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會實(shí)時(shí)繪出,并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時(shí)可以調(diào)出。
產(chǎn)品用途:
混氣管式PECVD系統(tǒng)可在片狀或類似形狀樣品表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜,并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應(yīng)用于刀具、高精模具、硬質(zhì)涂層、裝飾等領(lǐng)域。
產(chǎn)品參數(shù):
  • 產(chǎn)品型號:S-1200PC-HQ
  • 氣路控制:浮子流量計(jì)/質(zhì)量流量計(jì)
  • 真空系統(tǒng):旋片泵/擴(kuò)散泵/分子泵
  • 可選配件:水冷機(jī)/數(shù)顯真空計(jì)
  • 溫度:1200℃(可定制)
  • 工作溫度:≤1100℃(可定制)
  • 加熱元件:合金加熱絲
  • 溫控方式:智能化30段PID微電腦可編程控制
  • 溫控保護(hù):具有超溫及斷偶報(bào)警功能
  • 熱電偶:K型
  • 爐膛材質(zhì):高純氧化鋁多晶纖維
  • 加熱速率:0-20℃/分
  • 恒溫精度:±1℃
  • 均勻性:±5℃
  • 爐殼結(jié)構(gòu):雙層殼體帶風(fēng)冷系統(tǒng)
  • 額定功率:4Kw
  • 極限真空:6.0×10-5Pa
  • 工作真空:7.6×10-4Pa
  • 供電電源:110-480V 50/60Hz
  • 售后服務(wù):12個(gè)月質(zhì)保,終身保修(易損件除外)
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