產(chǎn)品簡(jiǎn)介：DX-7系晶棒及晶片角度測(cè)量?jī)x是雙側(cè)工作臺(tái)，可同時(shí)進(jìn)行操作，用于對(duì)晶棒及晶片的角度進(jìn)行測(cè)量。
DX-7系列晶棒、晶片角度測(cè)量?jī)x參數(shù)對(duì)比表
| 型 號(hào) | DX-7B | DX-7BG | ||||||||||||||||||||||||
| 主要特點(diǎn) | 設(shè)備構(gòu)造：設(shè)備分為落地式一體機(jī)。 外型尺寸：1132（長(zhǎng)）×642（寬）×1200（高）mm。
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| 設(shè)備精度 | 設(shè)備綜合精度為±30″ （以供方提供的標(biāo)準(zhǔn)石英片10ī1面測(cè)量） | 設(shè)備綜合精度為±15″ （以供方提供的標(biāo)準(zhǔn)石英片10ī1面測(cè)量） | ||||||||||||||||||||||||
| 最小讀數(shù) | 10″ | |||||||||||||||||||||||||
| 儀器配置 | DX-7B和DX-7BG型X射線(xiàn)單晶定向儀由機(jī)臺(tái)、管套及各種機(jī)械附件組成的機(jī)械部分；由穩(wěn)壓器、控制器、高壓變壓器、放大器、計(jì)數(shù)器、風(fēng)冷電機(jī)、X射線(xiàn)管及各種指示儀表組成的電氣部分構(gòu)成。 | |||||||||||||||||||||||||
| 技術(shù)指標(biāo) | （1）X射線(xiàn)發(fā)生器部分： X射線(xiàn)管：銅靶，風(fēng)扇冷卻，陽(yáng)極接地。 管電壓：30KVP，全壓合閘。 管電流：0—5mA 連續(xù)可調(diào)，使用2.0mA以上，有可能損壞X光管并加大輻射危害。 （2）輸入電源：?jiǎn)蜗嘟涣?20V，50Hz，整機(jī)總耗電功率不大于0.3 KW 。 （3）角度測(cè)量范圍： 2θ角：－10～+110° θ角:-5～+55°。 | |||||||||||||||||||||||||
| 衍射方式 | 單衍射 | 雙衍射 | ||||||||||||||||||||||||
| 放大系統(tǒng) | 傳統(tǒng)放大器 | 新型放大器 | ||||||||||||||||||||||||
| 接收系統(tǒng) | 計(jì)數(shù)管計(jì)數(shù)率為104/秒 | 計(jì)數(shù)管計(jì)數(shù)率為108/秒 （是普通系列的1萬(wàn)倍） | ||||||||||||||||||||||||
| 接收器壽命 | 1年 | 3年以上 | ||||||||||||||||||||||||
| X光管壽命 | 按照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)400小時(shí) （X光管可以使用3-4個(gè)月） | 是正常使用狀況下的2-3倍 （X光管至少可以使用一年） | ||||||||||||||||||||||||
| X管電流強(qiáng)度 | 1-1.5mA | 0.5-1.0mA | ||||||||||||||||||||||||
| 測(cè)量和使用效果 | X光管使用2-3個(gè)月有可能出現(xiàn)多個(gè)假峰，影響準(zhǔn)確度。需要經(jīng)常更換X光管，影響生產(chǎn)效率。 | 可以濾掉X光管的雜峰，不存在假峰現(xiàn)象。X光管可以使用1年左右，不需要頻繁調(diào)整機(jī)器。 | ||||||||||||||||||||||||
| 精度 | 精度±30秒（或±0.008度） | 精度±15秒（或±0.004度） | ||||||||||||||||||||||||
| 輻射 | 測(cè)量時(shí)使用 mA量越來(lái)越大，射線(xiàn)輻射量較大。 | 測(cè)量時(shí)使用 mA量小，射線(xiàn)輻射量較小。 | ||||||||||||||||||||||||
