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廣電計量檢測集團股份有限公司

中圖儀器光學(xué)輪廓儀三維形貌測量儀器SuperViewW1

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱深圳市中圖儀器股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號SuperViewW
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/2/3 8:47:28
  • 訪問次數(shù)476
產(chǎn)品標簽:

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深圳市中圖儀器股份有限公司是,致力于精密測量、計量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售?! ≈袌D儀器堅持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),現(xiàn)有員工200余人,集光、機、電、信息技術(shù)于一體的專業(yè)技術(shù)團隊、歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實踐、專業(yè)覆蓋面廣,專項技術(shù)能力強,具有多項技術(shù)和軟件知識產(chǎn)權(quán)。在微納米運動設(shè)計制造、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析、大尺寸三維空間測量、精密傳感測頭、光柵導(dǎo)軌測控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了的設(shè)計、制造優(yōu)勢,具備了從納米到百米為用戶提供專業(yè)的精密測量解決方案的能力?!≈袌D儀器在深圳市南山區(qū)智園科技園擁有現(xiàn)代化的辦公場地,在深圳市寶安區(qū)創(chuàng)新新世界產(chǎn)業(yè)園擁有儀器設(shè)備精密加工、裝配檢測的專業(yè)生產(chǎn)制造基地,按照ISO9001、6S等標準進行生產(chǎn),為客戶提供的產(chǎn)品?! ≈袌D儀器的銷售和服務(wù)網(wǎng)點遍及三十多個省、市、自治區(qū),海外市場快速成長,營銷網(wǎng)絡(luò)日逐完善?! ≈袌D儀器經(jīng)過十多年在幾何量測量領(lǐng)域的潛心研究,設(shè)計制造了Super View系列白光干涉儀、GT系列激光跟蹤儀、SJ6000系列激光干涉儀、SJ5100系列高精度測長機、SJ5700系列輪廓測量儀、SJ5200系列螺紋綜合測量機、SJ2000系列指示表自動檢定儀等眾多測量、計量設(shè)備。從納米級的微觀形貌檢測到百米級的大尺寸高精度測量,為用戶提供專業(yè)的精密測量解決方案。  目前,中圖儀器的產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于計量質(zhì)量檢測機構(gòu)、汽車、航空航天、機械制造、半導(dǎo)體加工、3C電子等行業(yè),部分產(chǎn)品達到水平,參與制定了多項國家標準,為中國儀器在精密測量、計量檢測領(lǐng)域的技術(shù)進步做出了應(yīng)有的貢獻?! ∥磥恚袌D儀器還將專注于精密測量檢測技術(shù)的發(fā)展,自強不息、知難而上、勇于創(chuàng)新,為制造技術(shù)的快速發(fā)展貢獻我們的力量,圖中國儀器技術(shù)之強大,鑄中國產(chǎn)業(yè)提升之利器。
SuperViewW1光學(xué)輪廓儀三維形貌測量儀器是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一
中圖儀器光學(xué)輪廓儀三維形貌測量儀器SuperViewW1 產(chǎn)品信息
SuperViewW1光學(xué)輪廓儀三維形貌測量儀器是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下,測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應(yīng)變測量以及表面形貌測量。
 

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀的X/Y方向標準行程為140*100mm,滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。而SuperViewW1-Pro 型號增大了測量范圍,可覆蓋8英寸及以下晶圓,定制版真空吸附盤,穩(wěn)定固定Wafer;氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計,隔離地面震動與噪聲干擾。
 

產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;
3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;
4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
 
 

性能特色

1、高精度、高重復(fù)性
1)采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高;
2)隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得高測量重復(fù)性;
2、雙重防撞保護措施
除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態(tài),保護儀器,降低人為操作風(fēng)險。
3、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
SuperViewW1光學(xué)輪廓儀既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配空壓機,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。
15700106413
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