3D激光干涉儀--同步測(cè)量被測(cè)物體的位移、偏擺角和俯仰角 | ||||||
世界范圍內(nèi),同類(lèi)產(chǎn)品中效率精度的干涉儀。
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技術(shù)參數(shù)
位移測(cè)量范圍 | 15 m |
位移測(cè)量分辨率 | 1.25 nm |
位移測(cè)量精度 | +/-0.4 ppm(需使用環(huán)境補(bǔ)償器) |
位移測(cè)量速度 | 2 m/s |
位移速度測(cè)量精度 | 1 ppm |
角度測(cè)量范圍 | +/-10° |
角度測(cè)量分辨率 | 0.012角秒 |
角度測(cè)量精度 | +/-0.1 ppm(角度沿某中心旋轉(zhuǎn)) +/-0.02%+/-0.5+/-0.1M(M=軸向標(biāo)定距離,單位為米) |
角度測(cè)量速度 | 90 rad/s |
角速度測(cè)量精度 | 1 ppm |
上圖為從一個(gè)坐標(biāo)軸方向同步測(cè)量物體的位移、偏擺和俯仰角光路圖 視頻演示
三軸測(cè)量軟件(位移、偏擺和俯仰角) 三角關(guān)系的設(shè)定 測(cè)量結(jié)果的統(tǒng)計(jì) 在位置5開(kāi)始測(cè)量 位移和角度的測(cè)量 ISO230數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)
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