Zeta-20光學(xué)輪廓儀概述:
型號：Zeta-20
產(chǎn)品：光學(xué)輪廓儀/表面輪廓測試系統(tǒng)
品牌：Zeta澤塔
簡介：最的3D成像及測試系統(tǒng) （為用戶量身打造的表面輪廓測量設(shè)備，是表面量測領(lǐng)域的 ）
Zeta-20光學(xué)輪廓儀特點：
功能齊全，操作簡易，用途廣泛的Zeta-20
ZDotTM技術(shù)擅于對高粗糙度、低反射率的表面進行成像分析
·具有防反射涂層的太陽能電池片
·圖形化/蝕刻的LED基板
·生物微機電、微機電系統(tǒng)和微流體槽
·透明的多表面樣品成像
Zeta-20可快速獲取數(shù)據(jù)
·可配置快于10秒掃一幅三維圖像的采集速度
·簡明易學(xué)的軟件操作界面
Zeta-20具強大的三維分析功能
·臺階高度、粗糙度、面積、體積、角度及其它表面屬性
·數(shù)據(jù)輸出格式與常見的第三方分析軟件可兼容
Zeta-20高度的靈活性
測量復(fù)雜的表面特征
從深槽到金剛石鋼線，Zeta-20強大的成像能力可對各種復(fù)雜表面進行測量。通常這些表面由于太粗糙、太暗或是坡度太陡而無法用其它設(shè)備測量。
Zeta-20選項配置齊全
在科研過程中所涉及的樣品表面類型往往難以預(yù)測。因此，Zeta-20使用模塊化設(shè)計理念，為用戶提供了一系列的硬件和軟件選項來滿足各種不同的測量需求。
·薄膜厚度光譜儀
·可測量納米級粗糙度的QDIC/Nomarski選項
·iX5干涉物鏡
·Z軸分辨率高達2nm的壓電陶瓷載臺
·傾斜載臺和真空吸附卡具
·自動特征提取和測量軟件
·自動表面面積測量、統(tǒng)計分析 ...以及其它眾多選項！
Zeta-20表面輪廓測試系統(tǒng)技術(shù)規(guī)格
Zeta-20性能配置
數(shù)據(jù)獲取： 小于10秒(200步掃描)
3D掃描： 每秒大于30步
像素分辨率： 0.031μm (1X耦合鏡、150X物鏡)
Z軸分辨率： 0.002 μm (壓電陶瓷載臺)
重復(fù)性(1σ): 0.006 μm (壓電陶瓷載臺和防震桌)
Zeta-20標(biāo)準(zhǔn)功能
相機選項： 640x480, 1024x768,
1280x960像素
放大倍率： 45000X (光學(xué)加數(shù)字)
照明： 雙重高亮度白光LED
手動載臺： 100mm x 100mm XY移動距離
Z軸移動距離：40mm
Zeta-20產(chǎn)品尺寸
顯微鏡: 305 x 406 x 559
計算機: 381 x 457 x 102
顯示器: 596 x 449 x 240
總重量: 65 lbs/29.5 kg
Zeta-20操作環(huán)境
電壓: 100 - 230 VAC
電流: 2A
操作溫度: 18 - 30oC, 非冷凝,± 1oC 每小時
