漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子 (圖一)，在轉子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過轉子線形良好的密封效果，壓力可達7.5 × 10-3 Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜，因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。
干式真空泵浦 (Dry Vacuum Pump) 產品特色
1. 泵浦 (Pump) 溫度控制精準
干式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優(yōu)良的轉子設計，同時改善殼體的冷卻方式，采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更精準地控制泵浦內部溫度，減少沉積物的產生，增加真空泵浦 (Vacuum Pump)的壽命。
2. 密封馬達安全性高
真空泵浦亦全面采用線型設計的水冷罐裝密封馬達，除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外，也可避免制程氣體外漏的風險。
3. 微電腦控制保護周全
真空泵浦亦可配備微電腦控制器，可同時監(jiān)控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保護，十分適用于光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩(wěn)定性要求之產業(yè)。
干式真空泵浦 (Dry Vacuum Pump) S/N 型
干式螺旋真空泵浦 S／N型為無罩式的干式螺旋真空泵浦機型。
干式螺旋真空泵浦 S／N型的型號有：PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802等。
干式螺旋真空泵浦 S／N型的特色有：
抽氣速度：1600 ~ 30000 L/Min
壓力：7.5 x 10-3 ~ 7.5 x 10-4 Torr
監(jiān)控系統(tǒng)，預防真空泵浦不正常停機
變頻及人性化操控界面
適用于一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、食品、化學工業(yè)應用
| 機型 | 適用行業(yè) |
| PS-80-N PS-160-N PS-180-N PS-602-N PS-902-N PS-1302-N PS-1802-N | 一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、食品、化學工業(yè)應用 |
| PS-80-S PS-160-S PS-180-S PS-602-S PS-902-S PS-1302-S PS-1802-S | 一般真空鍍膜、烤箱、熱處理、食品、化學工業(yè)應用 |
干式螺旋真空泵浦 A／H型為有罩式的干式螺旋真空泵浦機型。
干式螺旋真空泵浦 A／H型的型號有：PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802等。
干式螺旋真空泵浦 A／H型的特色有：
抽氣速度：1600 ~ 30000 L/Min
壓力：7.5 x 10-3 ~ 7.5 x 10-4 Torr
整合式氮氣加熱系統(tǒng)，減少氣體沉積，延長保養(yǎng)周期及壽命
監(jiān)控系統(tǒng)，預防真空泵浦不正常停機
適用于半導體、TFT-LCD、LED等光電產業(yè)、太陽能、熱處理應用
| 機型 | 適用行業(yè) |
| PS-80-A PS-160-A PS-180-A PS-602-A PS-902-A PS-1302-A PS-1802-A | 半導體、TFT/LCD、LED與太陽能電池產業(yè)。 |
| PS-80-A PS-160-A PS-180-A PS-602-A PS-902-A PS-1302-A PS-1802-A | 半導體、TFT/LCD、LED與太陽能電池產業(yè)。 |
PS1302 HANBELL 漢鐘干式螺旋真空泵
漢鐘PS系列干式螺桿真空泵主要特點：
漢鐘螺桿真空泵排氣路徑短，減少反應物沉積
hanbell干式螺桿真空泵相較于其他形式的真空泵，因氣體于泵內的傳輸路徑最短，最不易產生反應物沉積的現(xiàn)象。
漢鐘螺桿真空泵線形密封性佳，泵浦性能
Hanbell干式螺桿真空泵，轉子密封線形，轉子密封性佳，轉子能以較大的嚙合間隙達到更快的抽氣效果，由于漢鐘真空泵的嚙合間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉子也較不易因磨耗而需更換。
漢鐘螺桿真空泵結構簡單，故障率低，維護容易
Hanbell干式螺桿真空泵因只需要利用一對轉子相互嚙合達到密封效果，結構上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設計，降低轉子與隔板沉積卡死的風險。且因其結構單純，拆卸維修也比較容易，因此能縮短維修時程，降低維修費用。
漢鐘螺桿真空泵微電腦操作，遠端監(jiān)控，保護周全
Hanbell干式螺桿泵微電腦控制器提供真空最簡易的操作方式并能顯示真空泵完整的運轉狀態(tài)，方便使用者對泵應用狀態(tài)進行調整，在真空泵產生問題前進行預防保養(yǎng)。遠端監(jiān)控系統(tǒng)能夠提供使用者方便的監(jiān)控工具，使用者不需到現(xiàn)場就能夠了解真空泵的運行狀態(tài)。
漢鐘螺桿真空泵典型應用：
面板TFT-LCD, Touch Panel
太陽能Solar
冶金系統(tǒng)Metallurgical System
鍍膜Coating
電漿制程Plasma processes
干燥處理Drying Process
制程氣體抽取Degassing
生技/制藥Biotech/Pharmaceutical
化工產業(yè)Chemical Industry
鋰電池Battery
漢鐘螺桿真空泵排氣路徑短，減少反應物沉積
hanbell干式螺桿真空泵相較于其他形式的真空泵，因氣體于泵內的傳輸路徑最短，最不易產生反應物沉積的現(xiàn)象。
漢鐘螺桿真空泵線形密封性佳，泵浦性能
Hanbell干式螺桿真空泵，轉子密封線形，轉子密封性佳，轉子能以較大的嚙合間隙達到更快的抽氣效果，由于漢鐘真空泵的嚙合間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉子也較不易因磨耗而需更換。
漢鐘螺桿真空泵結構簡單，故障率低，維護容易
Hanbell干式螺桿真空泵因只需要利用一對轉子相互嚙合達到密封效果，結構上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設計，降低轉子與隔板沉積卡死的風險。且因其結構單純，拆卸維修也比較容易，因此能縮短維修時程，降低維修費用。
漢鐘螺桿真空泵微電腦操作，遠端監(jiān)控，保護周全
Hanbell干式螺桿泵微電腦控制器提供真空最簡易的操作方式并能顯示真空泵完整的運轉狀態(tài)，方便使用者對泵應用狀態(tài)進行調整，在真空泵產生問題前進行預防保養(yǎng)。遠端監(jiān)控系統(tǒng)能夠提供使用者方便的監(jiān)控工具，使用者不需到現(xiàn)場就能夠了解真空泵的運行狀態(tài)。
漢鐘螺桿真空泵典型應用：
面板TFT-LCD, Touch Panel
太陽能Solar
冶金系統(tǒng)Metallurgical System
鍍膜Coating
電漿制程Plasma processes
干燥處理Drying Process
制程氣體抽取Degassing
生技/制藥Biotech/Pharmaceutical
化工產業(yè)Chemical Industry
鋰電池Battery
| 機型Model | 單位Unit | PS80 | PS160 | PS180 | |
| 抽氣速度 Pumping Speed (50Hz/60Hz) | l/min | 1300/1600 | 2150/2600 | 2500/3000 | |
| m3/hr | 80/96 | 140/156 | 150/180 | ||
| Cfm | 48/57 | 82/92 | 88/105 | ||
| 壓力 Ultimate Pressure | Torr | ≤7.5*10-3 | |||
| mbar | ≤1*10-2 | ||||
| Pa | ≤1 | ||||
| 馬達 Motor | 頻率Frequency | Hz | 50/60 | ||
| 電壓Voltage | V | 220-440 | |||
| 額定功率 Rated Power | Hp | 4 | 6 | 6 | |
| kW | 2.98 | 2.98 | 2.98 | ||
| 連接 Connection | 進氣口Inlet | NW50 | |||
| 排氣口Outlet | NW40 | ||||
| 冷卻水 Cooling Water | 流量Min. Flow | l/min | 3-7 | ||
| 溫度temperature | ℃ | 18-30 | |||
| 壓力Pressure | Mpa | 0.2-0.4 | |||
| 接頭Connection | RC 3/8" | ||||
| 氮氣 N2 | 壓力Purge Pressure | MPa | 0.15-0.2 | ||
| 流量Purge Flow | Slm | 0-60 | |||
| 接頭Connection | Swagelok 1/4" | ||||
| 尺寸Dim. | 長×寬×高L×W×H | mm | 814*380*663 | 895*405*678 | 920*425*650 |
| 重量Weight | Kg | 450 | 300 | 320 | |
| 噪音Noise | dB(A) | ≤68 | ≤70 | ≤70 | |
| 系統(tǒng)漏率 System Max. Leak-rate | mbar.l/s | 1*10-5 | |||
| 室溫操作范圍Operation Temp. | ℃ | 5-40 | |||
| 操作濕度Operation Moisture | RH | 90%以上 | |||
