干式螺桿真空泵是主要是利用一對(duì)螺桿，其特點(diǎn)是兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，所以使得干式螺桿真空泵工作時(shí)，相互之間無磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤(rùn)滑油，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，極限真空更高。但是在我國(guó)使用的螺桿泵主要依靠進(jìn)口，價(jià)格非常昂貴。
干式螺桿真空泵，它利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。它的優(yōu)勢(shì)彌補(bǔ)了油封式真空泵的不足，我們都稱之為油封式真空泵的升級(jí)版。但是干式螺桿真空泵的造價(jià)也是它的不足之處。接下來主要介紹它的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)：
干式螺桿真空泵的優(yōu)點(diǎn)
1、工作腔及螺桿轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣工況
2、氣體在泵內(nèi)無壓縮，適宜抽取可凝性氣體
3、不耗油，無滴漏
4、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)方便。
5、被抽氣體直接排出泵體，不污染水，無環(huán)保壓力，氣體回收更便捷。
干式螺桿真空泵的缺點(diǎn)
1、由于螺桿泵加工難度大，我國(guó)使用的螺桿泵主要依靠進(jìn)口，價(jià)格非常昂貴。
2、不適于抽除含有爆炸性的氣體。
3、不適于抽除含氧過高的氣體。
隨著我國(guó)工業(yè)界的發(fā)展，在半導(dǎo)體工業(yè)、液晶顯示器等工藝制造中，對(duì)清潔真空環(huán)境的要求越來越高，而傳統(tǒng)的有油真空泵已經(jīng)達(dá)不到這樣的要求了。螺桿型干式真空泵以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長(zhǎng)、能耗低、無油污染等優(yōu)點(diǎn)，得到越來越多制造和應(yīng)用單位的重視，在干式真空泵市場(chǎng)中占有重要的地位。在歐美和日本等發(fā)達(dá)，螺桿型干式真空泵在很多領(lǐng)域已經(jīng)越來越多的代替了傳統(tǒng)的有油泵。
