SYSC-100A高精度程控勻膠機 旋涂儀 Spin Coater

一. 產(chǎn)品應(yīng)用

SYSC-100A高精度程控勻膠機（Spin Coater），又稱為旋轉(zhuǎn)涂膜儀，是*新一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、旋轉(zhuǎn)加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點。主要用于微電子、半導(dǎo)體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝，例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。

二. 產(chǎn)品特點

1. 旋轉(zhuǎn)電機采用專為勻膠機設(shè)計的精密高速伺服電機，具有高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性。

2. 優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能，*大旋轉(zhuǎn)加速度可達40000rpm/s（有負載的真實加速度）。

3. 兩項安全互鎖功能：

(1) 勻膠腔體具有開啟、關(guān)閉的檢測功能，確保腔體關(guān)閉后才可啟動，防止勻膠過程中飛片造成 人身傷害；

(2) 真空吸片具有真空檢測功能，若發(fā)生真空泄漏，基片無法吸附牢固，則立即停止運行。

4. 機身外殼采用SUS304不銹鋼制作，防腐蝕、不生銹、易清潔。

5. 勻膠腔體采用德國勞士領(lǐng)NPP材料，經(jīng)CNC一體加工成型。接儲脫離基片的膠液，避免進入真空管路和設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。

6. 旋轉(zhuǎn)吸片臺采用德國勞士領(lǐng)PEEK材料，經(jīng)CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。

7. 勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程*多可分十段進行，每段的加速時間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)。可儲存50組工藝程序，隨時調(diào)用。

8. 7英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運行狀態(tài)及各項參數(shù)實時顯示，更直觀了解勻膠進程；

9. 真空泵的開啟與關(guān)閉均為自動程序控制，無需手動操作。

10. 旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟，“預(yù)吸片時間”*多為99s，確?；喂涛接谛D(zhuǎn)臺后再進行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時間”*多為99s，確保安全停止后再切斷真空，釋放基片，防止涂膜后的基片滑落，對膜層造成損傷。

11. 標(biāo)配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺，防止飛片。

三. 技術(shù)參數(shù)

**大旋涂加速度為有負載條件下(使用≤?50mm基片)的真實加速度.