型號 8715 是一臺用于調節(jié)侵蝕性氣體質量流量的裝置，它需要一個與介質相分離的傳感器。在數(shù)字的電子調節(jié)設備中，會將傳感器提供的實際值與規(guī)定的額定值進行比較；存在調節(jié)偏差時，會通過一種 PI 調節(jié)算法對發(fā)送到比例閥上的調節(jié)參數(shù)進行修改。這樣一來，就可以將質量流量保持在一個確定的數(shù)值上，或使其遵循規(guī)定的曲線輪廓，而不會受到壓力波動或設備中其他變化的影響。 可針對兩種不同的氣體對型號 8715 進行校準，用戶可在兩者之間進行轉換。一個直動式比例閥作為調節(jié)元件，確保了高反應靈敏度和裝置良好的調節(jié)特性。通過數(shù)字方式與更高一級的設備進行通訊，這樣一來，就可以省去額外的 D/A 轉換。
采用毛細管技術的旁通儀器，適合額定流量范圍 5 mlN/min 至 15 lN/min
適合侵蝕性氣體
緊湊型版本和數(shù)字通訊