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廣電計量檢測集團股份有限公司

(帶Load_Lock裝置)全自動型感應耦合等離子體刻蝕機ICP-8000

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱北京金盛微納科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/12/8 16:13:39
  • 訪問次數305
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       北京金盛微納科技有限公司為國家、中關村,中國真空學會理事單位,中國電子專用設備工業(yè)協會、中國微米納米技術學會會員單位。主要從事半導體設備、微細加工設備的產品研制、設計開發(fā)、生產銷售,并開展相關工藝的研究及應用。主要產品有:勻膠機(SC)、烘膠臺(BP)、曝光機、刻蝕機(RIE、ICP、IBE)、等離子體淀積臺(PECVD)、磁控濺射臺(Sputter)、去膠機、濺射/刻蝕/淀積一體機、鍵合爐等。產品應用范圍涉及微電子、光電子、LED、MEMS、傳感器、平板顯示、通訊等領域,主要用于科研機構、大專院校、生產企業(yè)和公司進行各種器件的研究、開發(fā)和批量生產。公司建有“微細加工工藝示范線”以“開放實驗室”的形式對各大專院校、研究院所、企業(yè)等相關研究、生產單位開放。在“開放實驗室”里用戶可獲得:設備選型、項目預研與立項、合作攻關、工藝培訓、外協加工等服務支持。


公司特點

產品成線:公司可提供面向用戶研發(fā)與生產的工藝線上的核心設備,從勻烘系列、光刻系列、刻蝕系列、鍍膜系列、去膠、鍵合系列到組合設備。設備產品成線奠定了產品研發(fā)和生產過程中設備的協同,提供了研發(fā)和生產有效的工藝、工序保障。

產品立體化:公司依據不同科研單位、大專院校和生產企業(yè)的需求,生產標準(手動)設備、自動設備、具有LOAD-LOCK功能的全自動設備,以及為特定用戶個性化生產的組合設備。以此形成滿足不同層面、不同個性化需求的立體化設備產品體系,自動化設備以及內嵌的專家工藝,為產品生產的穩(wěn)定性、工藝的重復性提供了有效的硬件基礎,使之更好地應用于科研和生產。

產品與工藝配套:依托公司完備的設備基礎和優(yōu)勢的工藝力量,公司在產品設備上,開發(fā)了相應工藝,使之達到設備和工藝的結合,讓用戶獲得效果及解決方案。公司的“開放試驗室”還可提供完善、便捷的售后服務、技術支持,由此形成了既無前憂又無后顧的產品服務環(huán)境,成為公司產品占有市場的又一利器。


本設備采用PLC控制,觸摸顯示屏操作
(帶Load_Lock裝置)全自動型感應耦合等離子體刻蝕機ICP-8000 產品信息

    本設備采用PLC控制,觸摸顯示屏操作。其數字化參數界面和自動化操作方式為用戶提供了優(yōu)良的研發(fā)和生產平臺。

設備通過對真空系統、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量及工藝過程的自動控制,以及所具有的安全互鎖、智能監(jiān)控、在線狀態(tài)記憶、斷點保護等功能。從而獲得較高的刻蝕速率,并能精確地控制圖形的剖面。使設備的安全性、重復性、穩(wěn)定性、可靠性得到有效保證。 

本設備主要用于微電子、光電子、通訊、微機械等領域的器件研發(fā)和制造。

 

產品主要性能指標

型號

ICP-2B

ICP-500

ICP-5100

真空系統

分子泵機組

進樣室:機械泵系統;刻蝕室:分子泵機組

刻蝕室數量

單室

刻蝕室規(guī)格

?300×280mm

電極尺寸

?200mm

刻蝕材料

Poly-Si、Si、SiO2、Si3N4、WMo、GaNGaAs

刻蝕速率

0.1 – 1 μ/min (與刻蝕材料和工藝有關)

刻蝕不均勻性

≤±5%

深硅刻蝕控制單元

可選

 

自動化程度

 

真空系統、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量、工藝過程全自動控制。

真空系統、機械手送/取樣片、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量、工藝過程全自動控制。

人機界面

 

Windows環(huán)境、觸摸屏操作

操作方式

手動

全自動方式、非全自動方式

配套件選配

 

可選擇進口件或國產件

關鍵詞:人機界面
15700106413
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