產(chǎn)品描述
HRP-260是一款高分辨率cassette-to-cassette探針式輪廓儀。HRP的性能經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證，能夠進(jìn)行自動(dòng)化晶圓裝卸、可為半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和相關(guān)行業(yè)提供服務(wù)。P-260配置支持臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的二維及三維測(cè)量，其掃描深度可達(dá)200mm而無(wú)需圖像拼接。 HRP-260配置的功能與P-260相同，并增加了能夠?qū)π√卣鬟M(jìn)行高分辨率和高產(chǎn)量測(cè)量的高分辨率平臺(tái)。
HRP-260的雙平臺(tái)功能可以進(jìn)行納米和微米表面形貌的測(cè)量。 P-260配置提供長(zhǎng)掃描（最長(zhǎng)200mm）的功能，無(wú)需圖像拼接，HRP-260提供高分辨率掃描平臺(tái)，掃描長(zhǎng)度可達(dá)90μm。 P-260結(jié)合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描的功能，實(shí)現(xiàn)了出色的測(cè)量穩(wěn)定性。 HRP-260采用高分辨率壓電掃描平臺(tái)提高性能。 通過(guò)采用點(diǎn)擊式平臺(tái)控制、低倍和高倍率光學(xué)系統(tǒng)以及高分辨率數(shù)碼相機(jī)，其程序設(shè)置快速簡(jiǎn)便。 HRP-260支持二維和三維測(cè)量，具有各種濾鏡、調(diào)平和數(shù)據(jù)分析算法，以量化表面形貌。 并且通過(guò)自動(dòng)晶圓裝卸、圖案識(shí)別、排序和特征檢測(cè)以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。
主要功能
- 1.臺(tái)階高：納米至327μm
- 2.恒力控制的低觸力：0.03至50mg
- 3.樣品全直徑掃描，無(wú)需圖像拼接
- 4.視頻：在線低倍和高倍放大光學(xué)系統(tǒng)
- 5.圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差
- 6.軟件：簡(jiǎn)單易用的軟件界面
- 7.生產(chǎn)能力：通過(guò)測(cè)序、圖案識(shí)別和SECS / GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化
- 8.晶圓機(jī)械傳送臂：自動(dòng)加載75mm至200mm不透明（例如硅）和透明（例如藍(lán)寶石）樣品
- 9.HRP：高分辨率掃描平臺(tái)，分辨率類(lèi)似于AFM
主要應(yīng)用
- 1.臺(tái)階高度：2D和3D臺(tái)階高度
- 2.紋理：2D和3D粗糙度和波紋度
- 3.外形：2D和3D翹曲和形狀
- 4.應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力
- 5.缺陷復(fù)檢：2D和3D缺陷表面形貌
工業(yè)應(yīng)用
- 1.半導(dǎo)體
- 2.復(fù)合半導(dǎo)體
- 3.LED：發(fā)光二極管
- 4.MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)
- 5.數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
- 6.汽車(chē)
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