本公司將具有出色的可重現(xiàn)性、耐用性的波紋管型膨脹閥用作分析儀器，獨(dú)自研發(fā)出了這種精密壓力調(diào)節(jié)閥。
本調(diào)節(jié)閥屬于不滲液型，呈無(wú)油結(jié)構(gòu)，所用氣體不與大氣接觸，沒有污垢，因此在標(biāo)準(zhǔn)氣體、半導(dǎo)體領(lǐng)域等高純度氣體的壓力控制方面是的。
- 無(wú)油結(jié)構(gòu)
接觸氣體部分不使用任何潤(rùn)滑油，需要保持純凈狀態(tài)的標(biāo)準(zhǔn)氣體分析器與半導(dǎo)體領(lǐng)域等。 - 高精度
一次側(cè)壓力變化的重現(xiàn)性、二次側(cè)負(fù)荷電阻變化的重現(xiàn)性在±1％以內(nèi)，精度高。 - 高穩(wěn)定性
均由金屬零部件（如金屬波紋管）構(gòu)成，因此具有出色的耐用性，即使長(zhǎng)期連續(xù)使用也可保持一定壓力。 - 可實(shí)現(xiàn)低壓差操作
可以通過20kPa的壓差來控制一次側(cè)供給壓力和二次側(cè)設(shè)定壓力之間的壓差。 - 不滲液型
本產(chǎn)品屬于不滲液型型，不會(huì)發(fā)生氣體外泄，請(qǐng)您放心使用。
用途
- 用于氣體混合裝置
- 用于高純度氣體控制
- 用于低壓控制
尺寸圖
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
| 二次側(cè)壓力 設(shè)定范圍 | 5330A 9.8?294kPa 5330B 9.8?588kPa |
|---|---|
| 一次側(cè)壓力 | 784kPa |
| 耐壓力 | 784kPa |
| 重現(xiàn)性 | 在額定壓力的±1％范圍內(nèi) |
| 耐沖擊性 | 在額定壓力的±1％范圍內(nèi) |
| 溫度特性 | 0.8MPa |
| 重現(xiàn)性 | 在額定壓力的1％/10℃范圍內(nèi) |
| 環(huán)境溫度 | 5?60℃ |
| 接口 | Rc 1/4（標(biāo)準(zhǔn)）Rc1/8 |
| 流體接觸部分材質(zhì) | （S）SUS304、氟橡膠、氟樹脂 |
特殊規(guī)格
- 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格以外的接頭。
