工作原理
離子減薄制樣技術(shù)屬于離子束加工范疇。其方法是用高能離子束轟擊樣品表面、高能離子與樣品表面原子發(fā)生彈性碰撞、樣品表面原子能量增大至高于該原子逸出功時(shí),便飛離樣品,從而使樣品逐漸減薄。離子減薄儀通常用雙槍從樣品兩側(cè)轟擊。樣品隨著支架旋轉(zhuǎn),使得離子束轟擊均勻。
產(chǎn)品描述
GL2011型離子減薄儀由國(guó)內(nèi)專(zhuān)家精心設(shè)計(jì)制作,性能穩(wěn)定,應(yīng)用廣泛,可對(duì)金屬、非 金屬、陶瓷、礦物、半導(dǎo)體、骨骼、牙齒等幾乎所有固體材料進(jìn)行精密減薄處理。
產(chǎn)品特點(diǎn)
多功能樣品臺(tái),兼具離子減薄和離子拋光功能
離子束流自動(dòng)控制
監(jiān)視系統(tǒng)采用聚光光源
減薄過(guò)程無(wú)離子束遮擋
精心設(shè)計(jì)防污染觀察系統(tǒng)
結(jié)構(gòu)緊湊,體積小,精密
設(shè)計(jì),防誤操作系統(tǒng)
樣品潔凈,樣品信息更為
真實(shí)可靠
技術(shù)指標(biāo)
離子束加速電壓:連續(xù)可調(diào),0~10kV
品為銅時(shí),減薄速度:30μm/小時(shí)(銅樣品)
不送氣時(shí)真空度:10-3 Pa
離子束對(duì)樣品的最小傾角:
7°(普通試樣臺(tái)), 2°(拋光試樣臺(tái))
減薄效果
案例說(shuō)明:
樣品為約100u的鋁箔,表面為鋁的氧化物。用化學(xué)方法或者物理摩擦的方法減薄,都會(huì)非常明顯的破壞樣品表面形貌,甚至改變樣品化學(xué)成分。
使用GL-2011型離子減薄儀減薄后,在電子顯微鏡下可以觀察到,樣品沒(méi)有任何變形,而且獲得清晰的樣品圖像。
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