Gaertner Stokes激光橢圓儀LSE-USB
Gaertner stokes laser ellipsometer LSE-USB
具有便捷USB接口的LSE-USB型號(hào)使用的 StokesMeter™技術(shù)（曾榮獲 Photonics Spectra和R＆D 100新產(chǎn)品獎(jiǎng)）。該單元簡(jiǎn)單而堅(jiān)固的設(shè)計(jì)提供了的易用性和即時(shí)測(cè)量。它是非常復(fù)雜的橢圓儀的一種流行替代方案，可用于精確的常規(guī)測(cè)量。
與其他橢偏儀不同，StokesMeter™ 這項(xiàng)技術(shù)無(wú)需移動(dòng)部件，也無(wú)需調(diào)制器，即可快速準(zhǔn)確地確定入射角度為70°的HeNe激光測(cè)量光束的完整偏振態(tài)。激光光源具有足夠的光強(qiáng)度，以提高吸收膜和粗糙散射膜的測(cè)量精度。激光源還具有光譜精確，穩(wěn)定和持久的優(yōu)勢(shì)。激光允許使用光學(xué)器件，檢測(cè)器和其他組件進(jìn)行的儀器設(shè)計(jì)，從而可以進(jìn)行高度精確的測(cè)量。LSE-USB設(shè)計(jì)占用空間小，但可容納300mm的大樣本。樣品臺(tái)可以鎖定在適當(dāng)位置，也可以用手輕松移動(dòng)以測(cè)量樣品表面上的任何點(diǎn)。
高速薄膜厚度系統(tǒng)可以在不到一秒的時(shí)間內(nèi)完成常規(guī)測(cè)量！
特征
，無(wú)移動(dòng)部件的高級(jí)StokesMeter™ 測(cè)量頭。
測(cè)量極化的完整狀態(tài)，以提高準(zhǔn)確性。
使用光譜精確的激光橢偏儀進(jìn)行準(zhǔn)確，穩(wěn)定的測(cè)量。
的薄膜測(cè)量?jī)x器。
免傾斜，免聚焦，免提操作，適用于類(lèi)似晶片。
簡(jiǎn)單，緊湊的臺(tái)式儀器-價(jià)格具有競(jìng)爭(zhēng)力。
gaertner橢偏儀測(cè)量程序LGEMP說(shuō)明
LGEMP Windows軟件用途廣泛，可以測(cè)量單層膜（例如氧化物，氮化物和光致抗蝕劑）以及已知的1、2或3層堆棧的頂層，例如在氧化物上的多晶和在多晶上的氧化物在氧化物上。單層有機(jī)膜是LSE-USB型號(hào)的精度和穩(wěn)定性的應(yīng)用。
“文件處理程序”可以保存和快速檢索常用的測(cè)量設(shè)置參數(shù)?？梢詫⑺膫€(gè)用戶(hù)定義的設(shè)置文件分配給一個(gè)步驟的“按即走”快捷按鈕，以快速訪(fǎng)問(wèn)不同的測(cè)量設(shè)置。
LGEMP程序中的放大PSI-Delta映射允許對(duì)薄膜模型進(jìn)行理論上的“假設(shè)”類(lèi)型模擬，從而提供對(duì)薄膜模型的更深入了解。頂層薄膜厚度T1（粉紅色線(xiàn)），折射率Nf1（紅線(xiàn)），吸收Kf1（棕線(xiàn)）， Y（黃線(xiàn)）， D（綠線(xiàn)），左側(cè)帶有可移動(dòng)滑塊，可迅速顯示變化的影響模型參數(shù)對(duì)薄膜折射率的分辨率和可測(cè)量性。淺綠色線(xiàn)是恒定膜折射率Nf1的線(xiàn)。白線(xiàn)是Nf1的Autofix區(qū)域，在該區(qū)域中索引不容易解析。
Stokesmeter™技術(shù)的說(shuō)明
這種的設(shè)備無(wú)需移動(dòng)部件，也不需要調(diào)制器，可以快速，準(zhǔn)確地確定測(cè)量光束的完整偏振狀態(tài)，從而提高了測(cè)量精度。
上圖顯示了用于同時(shí)測(cè)量所有四個(gè)Stokes光參數(shù)的StokesMeter™光旋光儀。待確定其偏振狀態(tài)的光束以?xún)A斜的入射角連續(xù)入射三個(gè)光電探測(cè)器表面，每個(gè)光電探測(cè)器表面均被部分光譜反射，并且每個(gè)光電探測(cè)器表面均產(chǎn)生與光電探測(cè)器的分?jǐn)?shù)成比例的電信號(hào)。它吸收的輻射。第四光電探測(cè)器基本上吸收光，并檢測(cè)其余的光。這樣形成的四個(gè)輸出形成一個(gè)4x1信號(hào)矢量I，它與輸入斯托克斯矢量 S線(xiàn)性相關(guān)，即I = AS。所以，小號(hào)通過(guò)獲得S =甲（-1）予。4x4儀器矩陣 A必須是非奇異的，這要求前三個(gè)檢測(cè)器表面的入射平面都不同。對(duì)于給定的四個(gè)檢測(cè)器布置，可以通過(guò)校準(zhǔn)來(lái)計(jì)算或確定A。
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
簡(jiǎn)單，緊湊的 StokesMeter™ 取代了由鼓，棱鏡，編碼器，開(kāi)關(guān)，電動(dòng)機(jī)和檢測(cè)器及其相關(guān)電子設(shè)備組成的典型旋轉(zhuǎn)分析儀組件。此外，消除了偏振器臂上的波片機(jī)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)了快速，精確，無(wú)移動(dòng)的橢圓偏振儀。
斯托克斯（Stokes）橢圓儀的一項(xiàng)杰出功能是對(duì)由于樣品不平整而導(dǎo)致的角射束偏差的微小變化進(jìn)行了補(bǔ)償；這樣就可以在整個(gè)晶圓表面上進(jìn)行快速，連續(xù)的測(cè)量，而無(wú)需暫停以校正聚焦和傾斜。。
LSE-USB斯托克斯橢圓儀非常精確和穩(wěn)定，是基本的簡(jiǎn)單橢圓儀中的價(jià)值。LSE-USB型橢偏儀附帶LGEMP Windows™軟件，USB電纜，6英寸樣品臺(tái)和參考晶圓。它通過(guò)USB 2.0端口連接到Windows™PC或筆記本電腦。
LSE-USB可以配備以下選件：
可選的小光斑LSS可以將 標(biāo)準(zhǔn)的1毫米激光束減少到0.25 x 0.75毫米（樣品）， 請(qǐng)參見(jiàn)我們的LSE-MS模型，樣品上的15 x 45微米
可選的8英寸樣品臺(tái)L8 替代了8英寸樣品臺(tái)，代替了標(biāo)準(zhǔn)6英寸樣品臺(tái)
可選的L-SCAT太陽(yáng)能電池/ 散射樣品測(cè)量 太陽(yáng)能電池行業(yè)中常見(jiàn)的粗糙散射樣品很難用大多數(shù)橢圓偏振儀準(zhǔn)確測(cè)量，因?yàn)樾盘?hào)強(qiáng)度損失且測(cè)量光束去極化。盡管有提高信號(hào)強(qiáng)度和捕獲更多散射光的方法，但是處理去極化要困難得多，并且需要確定極化的完整狀態(tài)，即測(cè)量4個(gè)行程參數(shù)S0，s1，s2，s3。蓋特納斯托克斯橢偏做到這一點(diǎn)自然是我們 StokesMeter ?
旋光儀用作橢偏儀的分析儀。這使Stokes橢偏儀具有的功能，可以立即將測(cè)量光束的偏振和非偏振分量分開(kāi)，從而僅基于光的全部偏振分量就可以對(duì)薄膜厚度和折射率進(jìn)行高精度測(cè)量。L-SCAT散射選項(xiàng)包括對(duì)硬件的修改，可以捕獲更多來(lái)自粗糙，有紋理的表面的散射光，并且可以顯示偏振度P的程序。 但是，有些樣本過(guò)于粗糙，散射的光線(xiàn)太多，無(wú)法通過(guò)橢圓偏振法進(jìn)行測(cè)量。
帶有預(yù)裝驅(qū)動(dòng)程序以及軟件和安全纜線(xiàn)的 可選WIN 10筆記本電腦
可選的Stokes校準(zhǔn)套件L118-KIT
使用4個(gè)Gaertner可追溯晶圓加玻璃（L118G-KIT）或
4個(gè)NIST可追溯晶圓加玻璃（L118N-KIT）重新校準(zhǔn)任何Stokes橢圓儀。 中號(hào)OST用戶(hù)將 不需要橢偏儀校準(zhǔn)。適用于具有極其嚴(yán)格的公差和法規(guī)遵從用戶(hù)的的半導(dǎo)體制造商。
斯托克斯橢圓儀LSE-USB規(guī)格
| 對(duì)準(zhǔn)： | 使用計(jì)算機(jī)校準(zhǔn)屏幕手動(dòng)調(diào)整傾斜度和工作臺(tái)高度。 |
| 入射角： | 70度 |
| 測(cè)量方法： | Advanced StokesMeter™無(wú)需移動(dòng)部件和調(diào)制器，只需使用4個(gè)固定式硅探測(cè)器即可確定完整的測(cè)量光束偏振，因此測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定且準(zhǔn)確。 |
| 測(cè)量時(shí)間： | 實(shí)際上是瞬時(shí)的 |
| 測(cè)量激光： | 6328?HeNe氣體激光器，光束直徑為1mm |
| 對(duì)準(zhǔn)激光： | 670nm激光二極管 |
| 樣品（晶圓）尺寸： | 300毫米寬X無(wú)限長(zhǎng)度 |
| 階段： | 6英寸手動(dòng)定位工作臺(tái)，具有傾斜度和工作臺(tái)高度調(diào)節(jié)功能。 |
| 軟件： | 包含Windows™LGEMP 4層程序。 |
| 所需計(jì)算機(jī)： | 帶有USB 2.0端口的Windows™臺(tái)式機(jī)或筆記本電腦（不包括） |
| 膜厚范圍： | 基板上，1、2、3或4個(gè)已知子層上的0-60,000埃。 |
| 精度和重復(fù)性： | 在大多數(shù)測(cè)量范圍內(nèi)低于亞埃。 |
| 折光率： | 在大多數(shù)測(cè)量范圍內(nèi)為±0.0005。 |
| 功率： | 100V-240V，50-60Hz。，1安 |
| 尺寸圖 | 高度：16.5寬度：27.5深度：16英寸 凈重：45磅。運(yùn)輸重量：65磅。 |
| CDRH合規(guī)性： | 蓋特納（Gaertner）提供的所有激光橢圓儀均符合CDRH要求21CFR 1040，用于發(fā)出小于1 mW的II類(lèi)激光產(chǎn)品或小于5 mW的IIIb類(lèi)激光產(chǎn)品。與任何明亮的光源（例如太陽(yáng)燈或弧光燈）一樣，操作員不得直接凝視激光束或從高反射表面反射激光束。 |
| CE合規(guī)性： | 斯托克斯橢偏儀符合歐洲安全指令并帶有CE標(biāo)志。 |
| 保證： | 1年保修涵蓋所有零件和人工，不包括運(yùn)輸費(fèi)用 |
