高真空多靶磁控濺射鍍膜機真空鍍膜設(shè)備
MS-450高真空多靶磁控濺射鍍膜機
真空腔室：直徑450?H400mm，1Cr18Ni9Ti優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接，前開門結(jié)構(gòu)；
真空系統(tǒng)：機械泵+分子泵（進口和國產(chǎn)可選）；
極限真空：優(yōu)于5?10-5Pa（經(jīng)烘烤除氣后）；
真空抽速：大氣～8?10-4Pa≤30min；
升降基片臺：2～6英寸基片臺，靶基距60～120mm連續(xù)在線自動可調(diào)，旋轉(zhuǎn)0～20r/min可調(diào)，可加熱至500℃（可選水冷功能），可選配偏壓清洗功能；
磁控靶：直徑3英寸2～4只（可升級成直徑4英寸靶2～3只），兼容直流和射頻，可以濺射磁性材料的靶材；
濺射電源：直流脈沖濺射電源、全自動匹配的射頻濺射電源可任選；
質(zhì)量流量計：2～3路工藝氣體，可根據(jù)工藝要求增加；
膜厚監(jiān)控儀：可選配國產(chǎn)或進口單水冷探頭膜厚儀；
控制方式：PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實現(xiàn)一鍵抽停真空。
高真空多靶磁控濺射鍍膜機真空鍍膜設(shè)備
我們的產(chǎn)品嚴格遵照相關(guān)標準，并執(zhí)行原材料檢驗、加工在線檢測、半成品檢測及成品出廠檢測，對于非標定制的產(chǎn)品與客戶聯(lián)合檢測驗收；需要特別指出的是對于真空室，所有接縫處、焊接處及法蘭連接處都要通過嚴格的觀察檢驗及氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏測試，并對整個系統(tǒng)進行漏率測試，系統(tǒng)漏率優(yōu)于 8.0×10-8 Pa.L/S。
維意真空踐行“先服務(wù)，后銷售”原則，承諾對本公司銷售的產(chǎn)品提供不少于12個月的質(zhì)保服務(wù)（可根據(jù)客戶要求提供延保服務(wù)），質(zhì)保期內(nèi)設(shè)備的維修免費。質(zhì)保期外，提供終身服務(wù)。對于操作故障，本公司在接到故障通知2小時內(nèi)給予解答；對于設(shè)備故障，公司在接到故障通知后，北京地區(qū)12小時內(nèi)派技術(shù)人員到達現(xiàn)場處理，外阜地區(qū)48小時內(nèi)到達現(xiàn)場。
