*視窗為雙層設計，操作安全                                   
*設備占地面積小
*噴淋裝置噴淋均勻無死角                                      
*加熱材料高純無污染，in-line加熱
*有限控制金屬、材料及微粒子的交叉                           
*溫度自動校準
*軟硬件互鎖裝置保證操作人員人身安全                          
*支持SMIF自動傳輸
*實時記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù)，多種數(shù)據(jù)分析功能                          
*軟件支持GEM/SECS接口，提供PAP MES等功能
*工藝柔性化設計，工藝更改方便迅速                           
*優(yōu)化配管設置，節(jié)約DIW消耗量
*藥液濃度實時監(jiān)控系統(tǒng)                                        
*多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶適用和儲存
*槽體流場控制技術                                           
*高效藥液回收系統(tǒng)
*Maragoni Dryer 低破片率，高潔凈度                         
*較潔凈藥液回收利用，節(jié)約藥液使用
*易燃化學品安全穩(wěn)定加熱系統(tǒng)                                 
*易燃化學品搭載消防系統(tǒng)及切斷排風系統(tǒng)，符合消防安全
*自主知識產(chǎn)權的軟件系統(tǒng)                                      
*系統(tǒng)自動排程，多工位并發(fā)處理，高效率運行
*擁有多項軟件著作權                                         
*工藝預置，過程數(shù)據(jù)記錄和生產(chǎn)管理
*PC上位機和PLC觸摸屏的控制和人機交互界面