概要
CS-153N是一款高精度的化學藥液濃度計，適用于半導體制造中濕法蝕刻制程的嚴苛要求。蝕刻制程使用FPM藥液刻蝕二氧化硅和去除晶圓表面的顆粒。CS-153可持續(xù)監(jiān)測FPM藥液(HF/H2O2/H2O)中各個成分，在每一次藥液需要替換或補充時向用戶發(fā)出信號。因此可使FPM藥液的濃度保持在一個適當?shù)姆秶胁⒖杀苊獠槐匾乃幰禾娲?/p>
特征
- 監(jiān)測周期大約為3秒，支持300mm工藝的濃度管理
實現(xiàn)了以大約2秒為監(jiān)測周期(*)的高速響應。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。
*不包含藥液的置換時間、冷卻時間
- 小巧化設計有利于節(jié)省清洗裝置的空間由于底面面積只有原來的2/3(*)左右，這種小巧化設計有利于清洗裝置節(jié)省空間?？梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。
*和本公司產品CS-327系列進行比較
- 通過減少清洗工藝中的批次不良，提高產量
通過濃度計的信號輸出，進行HF/HNO3溶液的補給控制，從而實現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進產量的全面提高。
- 全自動監(jiān)測與簡易控制
用戶只需引入HF/HNO3溶液即可。監(jiān)測是全自動方式，因此開始監(jiān)測后不需要進行任何控制。另外，由于參照光譜測量時使用的是空氣，所以不需要用水。
- 通過采取全面的氣泡對策
在脫泡槽中分離氣泡，在監(jiān)測過程中進一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測單元內的發(fā)生次數(shù)抑制在限度。
- 采用DC24V，實現(xiàn)高安全性
電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且，由于內置漏水傳感器，在發(fā)生漏水時可以切斷HF/HNO3溶液的供應等，采取緊急措施。
