1.6.1. 元素分析范圍從硫(S)到鈾(U)；

1.6.2. 元素含量分析范圍為1PPm到99.99%；

1.6.3. 測(cè)量時(shí)間：60-200秒；

1.6.4. 同時(shí)分析鍍層層數(shù)：最多可達(dá)5層

1.6.5. 鍍層檢測(cè)厚度范圍：0.005-50μm（視材料類型而有所不同）首層厚度0.05μm以上測(cè)量誤差小于5%，穩(wěn)定性小于1%，次層厚度0.25μm測(cè)量誤差小于10%，穩(wěn)定性小于1.5%。最小測(cè)量厚度0.005μm.顯示精度0.0001μm.

1.6.6. 采用微聚焦準(zhǔn)直技術(shù)，最小可達(dá)Ф0.2mm,應(yīng)對(duì)小樣品和不規(guī)則樣品測(cè)試輕松自如。

1.6.7. RoHS指令規(guī)定的有害元素（限Cd/Pb/Cr/Hg/Br）其檢測(cè)限度達(dá)1PPM；

1.6.8. 能量分辨率為149±5電子伏特；

1.6.9. 溫度適應(yīng)范圍為15℃至30℃；

1.6.10 電源：交流220V±5V；（建議配置交流凈化穩(wěn)壓電源。）