太陽能電池行業(yè)在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的污染環(huán)境的氣體，常見的有用水清洗多晶硅硅料產(chǎn)生的有氮氧化物、vocs有機(jī)廢氣和硫酸霧。在此過程中會產(chǎn)生各種廢氣，如果直接排入大氣，會對環(huán)境和周邊人員健康造成很大影響，必須經(jīng)過尾氣處理設(shè)備凈化處理。
太陽能電池板廢氣處理設(shè)備方案如下：
太陽能電池行業(yè)在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的污染環(huán)境的氣體，常見的有用水清洗多晶硅硅料產(chǎn)生的有氮氧化物、vocs有機(jī)廢氣和硫酸霧。在此過程中會產(chǎn)生各種廢氣，如果直接排入大氣，會對環(huán)境和周邊人員健康造成很大影響，必須經(jīng)過尾氣處理設(shè)備凈化處理。
一、廢氣種類及來源
目前太陽能電池生產(chǎn)所產(chǎn)生的廢氣主要有酸堿排氣、有機(jī)排氣、硅烷氨氣排氣及熱排氣，都需要進(jìn)行尾氣處理設(shè)備處理后，廢氣達(dá)標(biāo)方可排入大氣中。其廢氣來源有以下幾個方面：
1. 酸性廢氣：主要來源來自太陽能電池生產(chǎn)中的制絨和去磷硅玻璃工序產(chǎn)生的HF、NOx等酸性氣態(tài)污染物。
2. 擴(kuò)散廢氣：擴(kuò)散工序產(chǎn)生的廢氣主要是CL2。
3.刻蝕廢氣：刻蝕廢氣中的污染物主要為HF、CO2和少量的SiO2。
4.PECVD 廢氣：PECVD廢氣主要為未發(fā)生反應(yīng)的SiH4、NH3和反應(yīng)生成的H2。
5.印刷廢氣和燒結(jié)廢氣：印刷和燒結(jié)工序廢氣主要是由于漿料中的有機(jī)溶劑等物質(zhì)揮發(fā)的有機(jī)氣態(tài)物質(zhì)，有機(jī)物的產(chǎn)生情況與漿料的成分、含量等因素密切相關(guān)。
二、太陽能電池板廢氣處理設(shè)備處理方法
太陽能電池板廢氣主要污染物有：硅烷廢氣、噴漆廢氣、酸性廢氣、有機(jī)溶劑揮發(fā)。對于不同的廢氣種類所采用的廢氣處理方法不同，主要有以下幾種方法：
1. 吸收法
噴淋塔使氣體從氣態(tài)轉(zhuǎn)化為液態(tài)的過程稱為化學(xué)吸收。通過噴淋塔內(nèi)部放置的多面球填料，可以使這一吸收的效率大大的提高，而多面球填料不但增大了氣液混合物的接觸面積，還極大的提高了吸收效率。其原理是噴淋塔采用藥水中和處理，廢氣通過噴淋塔，與其中的洗滌液發(fā)生中和反應(yīng)進(jìn)而吸收凈化；其中酸性氣體通過堿性洗滌液，堿性氣體通過酸性洗滌液。其工藝流程是廢氣由進(jìn)風(fēng)口流入，水平流過填料床，洗滌液垂直流過填料床，這種氣液逆流方式使廢氣與洗滌液充分作用，有效清除廢氣中的雜質(zhì)。洗滌液流入洗滌塔底部的污水槽，循環(huán)泵循環(huán)洗滌液，為了達(dá)到去除效率，在洗滌塔頂部的非固定式螺旋噴嘴為填料床提供均勻而連續(xù)的洗滌液。在洗滌塔的出口處，凈化過的氣體流過板式除霧器，除去空氣中的水霧。洗滌液的酸堿度通過加藥設(shè)施精確控制，使得廢氣中可溶性部分被洗滌液吸附，轉(zhuǎn)化成中性的液體后排放出洗滌塔。
2. 催化燃燒法
太陽能電池板有機(jī)廢氣產(chǎn)生于硅切片廢線切割階段，電池片絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)階段，主要成分為揮發(fā)性有機(jī)氣體，有機(jī)廢氣處理一般采用催化燃燒法。催化燃燒法是將廢氣在爐內(nèi)進(jìn)行分解，對有機(jī)廢氣進(jìn)行預(yù)處理操作后，將其通入爐體內(nèi)，加熱到一定的溫度讓廢氣中的有機(jī)廢氣發(fā)生氧化還原反應(yīng)，生成H2O和CO2排向大氣。
3.吸附法
吸附法是采用適當(dāng)?shù)奈絼U氣中有機(jī)廢氣成分進(jìn)行物理吸附，適用于中、低濃度廢氣的凈化處理。
