亞微米3D 觀察/ 測(cè)量
觀察納米范圍的臺(tái)階，并可測(cè)量亞微米級(jí)別的高度差。
合規(guī)表面粗糙度測(cè)量
可測(cè)量從線到面的表面粗糙度。
非接觸，無損，并且快捷
無需制備樣品 - 只需將樣品放在載物臺(tái)上即可測(cè)量。
LEXT OLS5000 3D測(cè)量激光顯微鏡配備的兩套光學(xué)系統(tǒng)（彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng)）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和好的分辨率圖像。
[ 獲取彩色信息]
彩色成像光學(xué)系統(tǒng)使用利用白光LED光源和CMOS相機(jī)獲取彩色信息。
[ 獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
激光共焦光學(xué)系統(tǒng)采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測(cè)量樣品的表面不規(guī)則性。
405納米激光光源
光學(xué)顯微鏡的橫向分辨率隨著波長(zhǎng)的減小而獲得提升。采用短波長(zhǎng)激光的激光顯微鏡相比采用可見光（峰值550納米）的傳統(tǒng)顯微鏡
具有好的橫向分辨率。OLS5000顯微鏡利用405納米短波長(zhǎng)激光二極管獲得好橫向分辨率。
激光共焦光學(xué)系統(tǒng)
激光共焦光學(xué)系統(tǒng)僅接收通過圓形針孔聚焦的光線，并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊，讓其能夠獲得
比普通顯微鏡對(duì)比度高的圖像。
X-Y掃描儀
OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學(xué)掃描儀。通過將采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結(jié)
合，能夠讓X-Y掃描儀定位于相對(duì)物鏡瞳鏡共軛的位置，因而能夠?qū)崿F(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。
輸出可靠數(shù)據(jù)的技術(shù)
采用以前的物鏡，像差讓其不容易準(zhǔn)確測(cè)量周邊區(qū)域。 用LEXT 物鏡能夠準(zhǔn)確測(cè)量周邊區(qū)域。
捕捉陡峭斜面形狀
4K掃描技術(shù)
具有大角度斜面的樣品（剃刀刀片）
以前的型號(hào) ：無法準(zhǔn)確測(cè)量陡峭斜面。 OLS5000 顯微鏡 ：可準(zhǔn)確測(cè)量接近87.5° 的大角度斜面。
自動(dòng)獲取數(shù)據(jù)
智能判別功能
測(cè)量噪聲被錯(cuò)誤地作為修復(fù)圖 顯示測(cè)量噪聲，一定程度地降低檢
測(cè)結(jié)果模棱兩可的風(fēng)險(xiǎn)。
以前的型號(hào) ：消除噪音的同時(shí)也消除了原始數(shù)據(jù)。 OLS5000 顯微鏡 ：自動(dòng)檢測(cè)數(shù)據(jù)和噪音，從而實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的形狀測(cè)量。
快速獲得可靠數(shù)據(jù)
該顯微鏡的掃描算法既可提高數(shù)據(jù)質(zhì)量又可提高速度，從而縮短您的掃描時(shí)間，簡(jiǎn)化您的工作流程，從而實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)力的提升。
使用簡(jiǎn)便 - 只需放好樣品按下按鈕即可
LEXT® OLS5000顯微鏡具有自動(dòng)數(shù)據(jù)采集功能，因而無需進(jìn)行復(fù)雜的設(shè)置調(diào)整。 生疏的用戶也可以獲得可靠的檢測(cè)結(jié)
果。
便捷分析
測(cè)量區(qū)域。
分析和報(bào)告已經(jīng)完成。
減少重復(fù)測(cè)量的差異
創(chuàng)建報(bào)告
當(dāng)這些步驟被設(shè)定為默認(rèn)模板時(shí)，
下次將自動(dòng)執(zhí)行生成報(bào)告的所有步
驟。
低功率輸出、非接觸式無損激光測(cè)量意味著不需要樣品制備?？梢栽诓粨p壞易損性材料的情況下對(duì)其進(jìn)行測(cè)量。擴(kuò)展架可容納接近210毫米的樣品，而
長(zhǎng)工作距離物鏡能夠測(cè)量深度接近25毫米的坑。在測(cè)量這兩類樣品時(shí)，您只需將樣品放在載物臺(tái)上即可。
可測(cè)量高210毫米的樣品：適應(yīng)各類樣品
提供可靠數(shù)據(jù)
檢測(cè)細(xì)微紋理和缺陷
好的橫向分辨率
405納米紫色激光和專用高數(shù)值孔徑物鏡可以捕捉到傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡、白光干涉儀或紅色激光顯微鏡無法發(fā)現(xiàn)的精細(xì)紋理和缺陷。
奧林巴斯掃描技術(shù)
MEMS掃描振鏡
奧林巴斯 MEMS 掃描振鏡能夠?qū)崿F(xiàn)較低掃描軌跡失真和小光學(xué)像差的X-Y 掃描。有些激光顯微鏡無法避免視場(chǎng)周邊區(qū)域測(cè)量值的波動(dòng)，但是 OLS5000
顯微鏡不論是測(cè)量視場(chǎng)中心還是邊緣，均可獲得一致的結(jié)果。
檢測(cè)陡峭斜面和近納米級(jí)臺(tái)階的形貌
4K 掃描技術(shù)
4K 掃描技術(shù)可在 X 軸方向掃描 4096 像素，是傳統(tǒng)機(jī)型的四倍。由此提高了高度測(cè)量的可靠性，改善了分辨率，信噪比提升了兩倍。OLS5000 顯微
鏡無需圖像處理就能檢測(cè)接近垂直的陡峭斜面和低的臺(tái)階。
PEAK 算法
OLS5000 顯微鏡采用了用于 3D 數(shù)據(jù)構(gòu)建的 PEAK 算法。該算法可獲得從低倍率到高倍率的高精度數(shù)據(jù)，并可縮短數(shù)據(jù)采
集時(shí)間。
自動(dòng)選擇數(shù)據(jù)采集的適合通道
雙共焦系統(tǒng)
雙共焦系統(tǒng)由采用不同孔徑的兩個(gè)共焦光學(xué)通道組成。根據(jù)鏡頭類型和數(shù)據(jù)采集模式選擇適合通道，實(shí)現(xiàn)可靠數(shù)據(jù)的快速采
集。
積極的可追溯性
為確保高質(zhì)量的產(chǎn)品性能，OLS5000顯微鏡從物鏡到激光頭的每個(gè)組件均采用嚴(yán)謹(jǐn)?shù)纳a(chǎn)系統(tǒng)制造而成。測(cè)量結(jié)果于工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)的可追溯系統(tǒng)。
在顯微鏡交付時(shí)，工程師將進(jìn)行系統(tǒng)的調(diào)整和校準(zhǔn)，根據(jù)您的應(yīng)用將顯微鏡調(diào)整到好的狀態(tài)。
對(duì)您的測(cè)量結(jié)果有信心
好的準(zhǔn)確度和重復(fù)性
測(cè)量工具的性能通常用準(zhǔn)確度表示測(cè)量值與其真實(shí)值的接近程度，用重復(fù)性表示重復(fù)測(cè)量值的變化程度。奧林巴斯以基于可追溯系統(tǒng)的顯微鏡準(zhǔn)
確度和可重復(fù)性，從而讓您對(duì)測(cè)量結(jié)果有信心。
| 型號(hào) | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 總倍率 | 54x - 17,280x | |||||
| 視場(chǎng)直徑 | 16um - 5,120um | |||||
| 測(cè)量原理 | 光學(xué)系統(tǒng) | 反射式共聚焦激光掃描激光顯微鏡 反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡 彩色 彩色DIC | ||||
| 光接收元件 | 激光：光電倍增管（2ch） | |||||
| 高度測(cè)量 | 顯示分辨率 | 0.5nm | ||||
| Linear scale | 0.78nm | |||||
| 動(dòng)態(tài)范圍 | 16 bits | |||||
| 重復(fù)性*1 *2 *6 | 10x : 0.1μm, 20x : 0.03μm, 50x : 0.012μm, 100x : 0.012μm | |||||
| 準(zhǔn)確性*1 *3 *6 | 0.15 + L/100μm (L: Measuring length[μm]) | |||||
| 拼接圖像準(zhǔn)確度 *1 *4 *6 | 10x : 5.0+L/100μm, 20x or higher : 1.0+L/100μm (L: Stitching height[μm]) | |||||
| 測(cè)量噪聲*1 *5 *6 | 1nm [Typ] | |||||
| 寬度測(cè)量 | 顯示分辨率 | 1nm | ||||
| 重復(fù)性 *1 *6 | 10x : 0.2μm, 20x：0.05μm, 50x : 0.04μm, 100x : 0.02μm | |||||
| 準(zhǔn)確度*1 *3 *6 | 測(cè)量值 +/- 1.5% | |||||
| 拼接圖像準(zhǔn)確度 *1 *3 *6 | 10x : 24+0.5L μm, 20X 15+0.5L μm, 50X 9+0.5L μm, 100X 7+0.5L μm (L: Stitching length[mm]) | |||||
| 單次測(cè)量時(shí)測(cè)量點(diǎn)的數(shù)量 | 4096 x 4096 pixel | |||||
| 測(cè)量點(diǎn)的數(shù)量 | 36 Mpixel | |||||
| XY 載物臺(tái)配置 | 長(zhǎng)度測(cè)量模塊 | ? | 無 | 無 | ? | 無 |
| 工作范圍 | 100 x 100mm Motorized | 100 x 100mm Manual | 300 x 300 mm Motorized | 100 x 100mm Motorized | 100 x 100mm Manual | |
| 樣品高度范圍 | 100mm | 40mm | 37mm | 210mm | 150mm | |
| 激光光源 | 波長(zhǎng) | 405nm | ||||
| 輸出 | 0.95 mW | |||||
| 激光分類 | 2類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | |||||
| 彩色光源 | 白光 LED | |||||
| 電氣功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | 240 W | |
| 質(zhì)量 | 顯微鏡主體 | 約31 kg | 約 32 kg | 約 50 kg | 約43 kg約 | 44 kg |
| 控制箱 | 約12 kg | |||||
