應(yīng)用范圍及結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)介

離子減薄儀是由華中科技大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院專(zhuān)為透射電子顯微鏡（TEM）研制的樣品制備設(shè)備。該設(shè)備主要適用于金屬、陶瓷及半導(dǎo)體等固體材料的TEM樣品的減薄與拋光。

該設(shè)備由小角度樣品旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)（Small incidence angle specimen rotation system, SIASRS）（）、高真空系統(tǒng)（High vacuum system, HVS），高壓電源系統(tǒng)（High voltage power system, HVS）、快速氣動(dòng)換樣系統(tǒng)(Pneumatic rapid specimen exchanger)（）以及高能聚焦離子槍等主要部分組成。設(shè)備外觀美觀、操作方便，可靠性好，是從事材料科學(xué)研究所的關(guān)鍵設(shè)備。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1． 小角度樣品旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)

作為離子減薄儀的核心部分，因其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理、精巧實(shí)用，獲得了國(guó)家。其特點(diǎn)：

樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定，對(duì)離子束無(wú)遮擋

該裝置采用了齒輪傳動(dòng)方式，用傳動(dòng)齒輪帶動(dòng)主齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使安置在主齒輪上的樣品平穩(wěn)轉(zhuǎn)動(dòng)。該裝置避免了國(guó)內(nèi)外同類(lèi)產(chǎn)品中三柱式樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)及軸承傳動(dòng)旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)的缺點(diǎn)，使樣品臺(tái)不會(huì)在旋轉(zhuǎn)減薄過(guò)程中遮擋離子束(Ion beam)，以及樣品旋轉(zhuǎn)不穩(wěn)定而導(dǎo)致樣品薄區(qū)表面不均勻等問(wèn)題。同時(shí)，該裝置還解決了因離子束撞擊樣品臺(tái)而污染真空室的問(wèn)題。

離子束掠射角小，樣品薄區(qū)大

該系統(tǒng)采取了超薄型樣品臺(tái)設(shè)計(jì)，使樣品與離子束之間的掠射角同時(shí)減小到最小角度(僅為1.5°)，因而被減薄樣品的薄區(qū)范圍比同類(lèi)產(chǎn)品所減薄樣品的薄區(qū)明顯增大，這也是該系統(tǒng)的主要特點(diǎn)之一。

系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊，樣品減薄速度高

在離子槍的結(jié)構(gòu)上克服了目前同類(lèi)產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)缺陷，調(diào)近了離子槍與樣品的距離，達(dá)到了節(jié)約能源、提高減薄速度的效果。

樣品臺(tái)導(dǎo)熱性能好

在樣品減薄過(guò)程中，由于高能離子束的沖擊作用，樣品的溫度會(huì)有所升高，針對(duì)這一問(wèn)題，樣品臺(tái)采用特制導(dǎo)熱性能良好的材料，從而降低了樣品的溫升，這樣保證了樣品在減薄過(guò)程中不會(huì)發(fā)生相變。

2． 高真空系統(tǒng)

由于真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、小巧，使真空室體積大大縮小，同時(shí)采用德國(guó)的分子泵及隔膜泵。大大提高了系統(tǒng)抽真空的速度及真空度，為減薄樣品創(chuàng)造了有利條件。

3． 高壓電源系統(tǒng)

系統(tǒng)采用國(guó)外進(jìn)口元器件，性能優(yōu)良，安全可靠，使用壽命長(zhǎng)。電源高壓穩(wěn)定，電壓可隨意調(diào)節(jié)，并實(shí)現(xiàn)了高壓故障自動(dòng)保護(hù)。

4． 快速氣動(dòng)換樣系統(tǒng)

為了減少因更換樣品而影響樣品減薄時(shí)間及系統(tǒng)抽真空時(shí)間，特別設(shè)計(jì)了快速氣動(dòng)換樣系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了在不影響系統(tǒng)真空的條件下，快速更換樣品的目的。

工作環(huán)境要求(Service Requirements)

電源（Electricity）： 1.2kW AC 220 ~ 240V 50Hz

氣源 (Gas)： > 0.1MPa(1kg/cm ²) 氬氣

技術(shù)參數(shù)(specifications)

高壓電源（High voltage supply×2）： 0 ~ 10kV (連續(xù)可調(diào)，短路保護(hù))

離子束電流（Total current）： 0 ~ 1mA

離子束掠射角（Beam incidence angle）： 1.5°~ 45°（雙面）

自動(dòng)保護(hù)（Auto-shutdown）： 高壓 (high voltage)，

樣品旋轉(zhuǎn) (specimen rotation)

抽真空速率（Pumping speeds）： 分子加速泵（TP）/ 隔膜泵

樣品（Specimen×1）： 3毫米直徑 (3mm diameter)

樣品減薄速率： 40μm/h(Cu)

重量及外形尺寸（Weight and size）： 30kg，420mm×520mm×700mm

其它信息

武漢吉普電氣有限公司注冊(cè)于武漢東湖新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)，是由海內(nèi)外學(xué)子共同創(chuàng)辦的一家集研究、 生產(chǎn)和貿(mào)易為一體的高科技公司；所研制的離子減薄儀技術(shù)及相關(guān)產(chǎn)品達(dá)到國(guó)際上水平。

延友儀器（上海）有限公司是武漢吉普電氣有限公司的代理商，負(fù)責(zé)銷(xiāo)售其生產(chǎn)的離子減薄儀。

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