低溫化學氣相沉積冷卻系統(tǒng)-試驗用冷水機裝置采用國際品牌配件，性能穩(wěn)定，可連續(xù)24小時工作。
產(chǎn)品可應用于對半導體制造裝置發(fā)熱部分的冷卻、對激光裝置發(fā)熱部分的冷卻、分析檢測機器的發(fā)熱部分的冷卻等。
低溫化學氣相沉積冷卻系統(tǒng)水泵發(fā)生故障的話，就需要及時有效的解決，那么一般來說，故障怎么解決好呢？
水泵故障原因分析：
水泵交流接觸器上的過載保護器動作。
水泵電容器燒壞(單相)。
水泵本身問題，如：線圈燒壞、軸承壞死等。
水泵故障的排除方法：
輕按過流保護器中RESET復位鍵即可。
更換電容器。
更換水泵(更換水泵時應注意水泵的轉向)。
注意事項：
低溫化學氣相沉積冷卻系統(tǒng)和工業(yè)低溫化學氣相沉積冷卻系統(tǒng)排除以上故障前都應先檢查各電源連接線路是否有斷開、破損、短路等，避免在維修時帶來不必要的麻煩。
當機器出現(xiàn)故障時，應請專業(yè)人員進行機器檢查維修，嚴禁在機器處理故障時將機器強行起動。
工業(yè)低溫化學氣相沉積冷卻系統(tǒng)起動、運轉
按調(diào)度指令打開切換井的進出水閘門，關閉其他各閘門。
水泵啟動前，應向填料函上的接管，引注清水潤滑橡膠軸承，待泵出水后即可關小，有水滴出為宜，檢查泵軸承位的油位，確保各處水、油路暢通。
水泵啟動前檢查各連接部位應無松動，用手轉動聯(lián)軸器，看是否靈活，泵內(nèi)是否有響聲。
低溫化學氣相沉積冷卻系統(tǒng)水泵啟動時，機旁不得站人，啟動后應至少守機五分鐘檢查設備情況，如有不正常的振動和聲音或出水情況有異常應立鄖停機檢查，不允許投入運行后隨即離開機泵。
