日本Profilm3D 3D 表面形狀測(cè)量系統(tǒng)
它是一個(gè)使用白光干涉技術(shù)的系統(tǒng)，可以無接觸地測(cè)量包括臺(tái)階和粗糙度在內(nèi)的三維形狀。
Profilm 3D 適用于測(cè)量小樣品，涵蓋了測(cè)量 3D 形狀所需的所有功能，并且比傳統(tǒng)產(chǎn)品更緊湊、更便宜。
各種測(cè)量模式，包括適合高精度測(cè)量微米級(jí)臺(tái)階和形狀的垂直掃描干涉測(cè)量法 (WLI) 和適合測(cè)量納米級(jí)形狀和粗糙度的相移干涉測(cè)量法 (PSI)。包括標(biāo)準(zhǔn)步驟樣品在內(nèi)的一切都是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，包括用于放大物鏡的左輪、自動(dòng)載物臺(tái)以及便于操作、分析和管理測(cè)量數(shù)據(jù)的軟件。
主要特點(diǎn)
低價(jià)！
在配備所有必要功能的同時(shí)實(shí)現(xiàn)低價(jià)納米級(jí)高分辨率
采用相移干涉法實(shí)現(xiàn)高分辨率全標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
XY自動(dòng)載物臺(tái)，手動(dòng)左輪，自動(dòng)光強(qiáng)調(diào)節(jié)，自動(dòng)對(duì)焦功能緊湊的外殼
主體的占地面積為 30 x 30 cm 的緊湊設(shè)計(jì)。配備 WLI 和 PSI 兩種測(cè)量模式 一臺(tái)設(shè)備即可
測(cè)量臺(tái)階測(cè)量和粗糙度測(cè)量操作
簡(jiǎn)單 基本操作只是簡(jiǎn)單的鼠標(biāo)操作符合 ISO 標(biāo)準(zhǔn)的粗糙度測(cè)量符合
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) ISO25178可擴(kuò)展性
多種物鏡選擇，數(shù)據(jù)拼接功能
主要應(yīng)用
| 半導(dǎo)體 | 晶圓凸塊、CMP焊盤等 |
|---|---|
| 醫(yī)療領(lǐng)域 | 注射針、人工關(guān)節(jié)、支架等 |
| 安裝板 | 銅線、凸點(diǎn)、透鏡等 |
規(guī)格
測(cè)量規(guī)格
| 垂直掃描白光干涉測(cè)量法 (WLI) | 相移干涉測(cè)量 (PSI) | |
|---|---|---|
| 測(cè)量范圍 | 50 納米 – 10 毫米 | 0 – 3 微米 |
| 準(zhǔn)確性 | 0.7% | —— |
| 再現(xiàn)性 | 0.1% | —— |
| 反射范圍 | 0.05% – 99% | 0.05% – 99% |
設(shè)備規(guī)格
| XY自動(dòng)載物臺(tái) | 100mm x 100mm |
|---|---|
| Z軸驅(qū)動(dòng)范圍 | 100mm |
| 壓電驅(qū)動(dòng)范圍 | 500微米 |
| 掃描速度 | 12微米/秒 |
| 相機(jī) | 2592 x 1944（500 萬(wàn)像素） |
| 體重 | 15公斤 |
物鏡規(guī)格
| 5次 | 10倍 | 20次 | 50次 | 百倍 | |
| 視野 | 4.0 x 3.4 毫米 | 2.0 x 1.7 毫米 | 1.0 x 0.85mm | 0.4 x 0.34mm | 0.2 x 0.17mm |
| 鏡頭分辨率 | 2.1微米 | 0.92微米 | 0.69 微米 | 0.5微米 | 0.4微米 |
