日本hrd-therma微小區(qū)域熱擴散率檢測TM3
特征
熱物理特性顯微鏡是一種測量熱擴散率的設備，熱擴散率是熱物理特性值之一。
它是一種可以用點、線和面測量樣品的熱特性的設備。
還可以測量微米量級的熱物理特性分布，這在傳統(tǒng)的熱物理特性測量設備中被認為是困難的。
它是世界上一個能夠對熱物理特性進行非接觸和高分辨率測量的設備。
3 μm的檢測光斑直徑可在微小區(qū)域內(nèi)進行高分辨率熱物理特性測量（點/線/面測量）。
由于可以通過改變深度范圍進行測量，因此可以從薄膜/多層膜到塊狀材料進行測量。
您還可以測量基板上的樣品。
使用激光進行非接觸式測量。
可以檢測薄膜下的裂紋、空隙和剝落。
熱物理顯微鏡測量原理（概述）
在樣品上形成金屬薄膜，并用加熱激光定期加熱。
由于金屬的反射率具有隨表面溫度變化的特性（熱解法），因此通過捕捉與加熱激光同軸照射的檢測激光的反射強度變化來測量表面的相對溫度變化。做。
熱量從金屬薄膜傳播到樣品，導致表面溫度響應出現(xiàn)相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱特性。通過測量加熱光和檢測光之間的相位延遲來獲得熱擴散率。
主要規(guī)格
| 名稱/產(chǎn)品名稱 | 熱物理顯微鏡/熱顯微鏡 |
|---|---|
| 測量模式 | 熱物性分布測量（1D、2D、1點） |
| 測量項目 | 熱擴散率，（熱擴散率），（熱導率） |
| 檢測光斑直徑 | 約 3 μm |
| 1點測量標準時間 | 10 秒 |
| 待測薄膜 | 厚度從幾百納米到幾十微米 |
| 重復精度 | Pyrex 和硅的熱擴散率小于 ± 10% |
| 樣本 | 1. 樣品架 30 mm x 30 mm 厚度 5 mm 2. 板狀樣品 30 mm x 30 mm 或更小且 3 mm 或更小
|
| 工作溫度限制 | 24°C±1°C（根據(jù)設備內(nèi)置的溫度傳感器） |
| 舞臺移動距離 | ? X 軸方向 20mm ? Y 軸方向 20mm ? Z 軸方向 10mm |
| 加熱用激光 | 半導體激光波長：808nm |
| 檢測用激光 | 半導體激光波長：658nm |
| 電源 | 交流 100V 1.5kVA |
| 標準配件 | 樣品架，參考樣品 |
| 選項 | 光學平臺、空調(diào)、空調(diào)房、濺射設備 |
