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ARS超導(dǎo)磁體探針臺(tái)用于強(qiáng)磁場(chǎng)條件下電子器件的非破壞性電學(xué)測(cè)試，系統(tǒng)高可獲得9T垂直磁場(chǎng)，也可以加雙軸矢量超導(dǎo)磁體。
超導(dǎo)磁體探針臺(tái)是實(shí)驗(yàn)中理想的研究磁光和磁電性質(zhì)的平臺(tái)，它可以應(yīng)用于各種不同的領(lǐng)域，如量子點(diǎn)、自旋電子器件、納米電子學(xué)等等。ARS超導(dǎo)磁體探針臺(tái)可以根據(jù)客戶實(shí)際的實(shí)驗(yàn)需求進(jìn)行定制。
ARS是專業(yè)的低溫設(shè)備廠家，超導(dǎo)磁體探針臺(tái)使用ARS的DE210及DE215系列制冷機(jī)，可在樣品臺(tái)獲得低于4K的溫度。ARS冷頭性能優(yōu)異，冷卻速度快，制冷量大，冷頭振動(dòng)低，性能穩(wěn)定，是適宜科研設(shè)備中使用的冷頭。
ARS設(shè)備都采用高拋光不銹鋼材料做真空罩，鍍鎳的無氧銅用作冷屏及其他導(dǎo)熱材料，高質(zhì)量的材料使系統(tǒng)可以獲得更高的真空度等級(jí)以及潔凈的樣品環(huán)境。
ARS公司整體探針臺(tái)及冷頭的生產(chǎn)加工，確保產(chǎn)品性能的一致性，也利于系統(tǒng)的維護(hù)及售后服務(wù)。
特點(diǎn) | 備注 |
溫度范圍：<5K-350K | 其他溫區(qū)可選 |
樣品區(qū)3T垂直磁場(chǎng) | 可達(dá)6T |
樣品區(qū)振動(dòng)優(yōu)于1微米 | |
11英寸不銹鋼真空室 | |
9英寸鍍鎳無氧銅防熱輻射屏 | |
1.75英寸鍍金無氧銅樣品臺(tái) | |
高純石英觀察窗 | |
藍(lán)寶石防熱輻射屏冷窗 | |
多至6個(gè)三維微操作探針臂 | |
可選直流DC/高頻RF/微波/光纖探針探針臂 | |
控溫系統(tǒng)：高精度4通道控溫儀、用于測(cè)量樣品溫度的校準(zhǔn)行硅二極管溫度計(jì)（±12mK）、加熱器 | |
7:1顯微觀測(cè)系統(tǒng)，3微米分辨率，環(huán)形光源 | 可升級(jí)16:1顯微觀察系統(tǒng) |
規(guī)格及技術(shù)參數(shù) | |
制冷方式 | 雙冷頭，閉循環(huán)制冷，無需液氦 |
溫度范圍 | 5K-350K （可選更高制冷量DE215冷頭冷臺(tái)溫度<4K,安裝高溫隔熱臺(tái)高溫可達(dá)800K） |
磁場(chǎng)范圍 | -3T至+3T （可選-6T至+6T，或矢量磁體） |
溫度穩(wěn)定性 | 優(yōu)于50mK |
泵抽真空時(shí)間 | 約120分鐘 |
降溫時(shí)間 | 約5小時(shí)至10K（DE210S冷頭） |
真空腔 | 無磁不銹鋼真空腔 直徑11英寸 上蓋安裝高純石英窗口 |
防熱輻射屏 | 鍍鎳無氧銅防熱輻射屏 直徑9英寸 上蓋藍(lán)寶石冷窗 熱連接至1級(jí)冷頭 |
樣品臺(tái) | 鍍金無氧銅樣品臺(tái) 1.75英寸直徑 1英寸可測(cè)試范圍 安放2英寸樣品 （其他尺寸可接受定制） |
探針臂位移臺(tái) | 手動(dòng)驅(qū)動(dòng) 不銹鋼焊接波紋管連接 X方向（軸向）2英寸行程 Y方向（橫向）1英寸行程（標(biāo)準(zhǔn)） Z方向（垂直方向）0.5英寸行程 刻度10微米 靈敏度5微米 |
振動(dòng) | 三級(jí)減震，振動(dòng)小于1微米 |
溫度計(jì)安裝 | 6個(gè)溫度計(jì)，2套加熱器 6個(gè)溫度計(jì)位置： 1個(gè)DT-670B-SD溫度計(jì)安裝于防熱輻射屏用于防熱輻射屏的快速升溫 1個(gè)DT-670B-SD溫度計(jì)安裝于樣品臺(tái)底部用于控溫 1個(gè)DT-670B-SD溫度計(jì)安裝于冷頭位置用于診斷 1個(gè)校準(zhǔn)型CX-1070-CU-4L溫度計(jì)安裝在樣品臺(tái)頂部樣品附近，用于精確測(cè)溫 1個(gè)DT-670B-CU溫度計(jì)安裝在制冷機(jī)一級(jí)冷頭用于診斷 1個(gè)CX-1070-CU-4L溫度計(jì)安裝在磁體頂部用于檢測(cè)磁體溫度 2套加熱器位置： 1套50W筒狀加熱器安裝在樣品臺(tái)底部用于控溫 1套100W加熱器安裝在防熱輻射屏上用于系統(tǒng)快速升溫 |
顯微觀測(cè)系統(tǒng) | 標(biāo)準(zhǔn)7:1顯微鏡 4.2毫米-0.61毫米視野 工作距離：89毫米 數(shù)值孔徑：0.024-0.08 光源：環(huán)形光源 分辨率：3微米 安裝手動(dòng)三維位移臺(tái) 高分辨率24英寸顯示器 可選16:1顯微鏡 12.8毫米-0.8毫米視野 工作距離：89毫米 數(shù)值孔徑：0.0090-0.15 光源：環(huán)形光源 分辨率：2微米 安裝手動(dòng)三維位移臺(tái) 高分辨率24英寸顯示器 |
探針臂 | |
直流/低頻探針臂 | 微型同軸電纜 接頭：SMA或BNC 頻率：0-100兆赫茲 阻抗：50歐姆 包含接地屏蔽接頭 三同軸電纜 接頭：三同軸接頭 頻率：0-100兆赫茲 阻抗：50歐姆 卡爾文探針 電纜：同軸或三同軸 接頭：SMA/BNC/三同軸 頻率：0-100兆赫茲 針尖材料： 鎢針（標(biāo)準(zhǔn)） 鍍金鎢針（可選） 鈹銅鍍金（可選） 針尖半徑： 0.5微米（其他半徑可選） |
GSG高頻探針臂 | 0-40GHz 接頭：K型接頭 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 0-50GHz 接頭：2.4 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 0-67GHz 接頭：1.85 電纜：半剛性同軸電纜 針尖：鎢針或鈹銅針尖 |
光纖探針臂 | 紫外/可見 或 可見/紅外 接頭：SMA905公頭 光纖樣品端：拋光裸頭 尺寸：100微米-400微米 單?；蚨嗄?/span> |
案例
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PS-CC-SCM帶顯微鏡和探針攝像機(jī)的超導(dǎo)磁體探針臺(tái) | XYZ平移臺(tái)采用淬火鋼球軸承，以實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)、精確的運(yùn)動(dòng)控制 |
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