等離子體納米改性升級系統(tǒng)

是一款為工業(yè)級客戶和研發(fā)型客戶使用需求設(shè)計的寬泛使用等離子表面處理設(shè)備，適用于等離子清洗，活化以及刻蝕等多種應(yīng)用，設(shè)備可在嚴(yán)苛環(huán)境下穩(wěn)定運行，獲得高度均一的使用效果。

等離子體納米改性升級系統(tǒng)產(chǎn)品特點：

1、13.56MHz射頻電源與自動匹配系統(tǒng)，具有優(yōu)異的穩(wěn)定性與可重復(fù)性

靈活的電極結(jié)構(gòu)設(shè)置與優(yōu)化的氣體饋入、分布方案，確保大批量處理的均勻性

PLC與工控機提供穩(wěn)定的過程控制，設(shè)備運行的實時參數(shù)通過顯示屏直觀呈現(xiàn)

系統(tǒng)穩(wěn)定可靠，易于保養(yǎng)與維護(hù)

2、標(biāo)準(zhǔn)腔體電極為平行板電極結(jié)構(gòu)，通過改變電極配置(RF電極、地電極、懸浮電極等)可以獲得不同的工藝效果

3、至多支持?jǐn)U展至8片電極

4、每對電極間為獨立空間  

5、批處理電極改變了標(biāo)準(zhǔn)的平行板電極結(jié)構(gòu)

6、通過優(yōu)化的電場和進(jìn)氣設(shè)計實現(xiàn)對magazi和boat等載具內(nèi)產(chǎn)品的均勻處理。

技術(shù)參數(shù)：

應(yīng)用領(lǐng)域：

1、表面清潔與活化

2、表面有機污染物與金屬氧化物的去除

3、增強表面膠體流動性，消除涂層分層

4、提升表面能，實現(xiàn)難粘材料的有效結(jié)合

5、表面粗化及微刻蝕

6、納米級表面粗化，應(yīng)力釋放

7、光刻膠、殘膠的去除

8、對多種材料的選擇性刻蝕