日本ACE層流壓差型質(zhì)量流量控制器AFC / AFM系列
日本ACE層流壓差型質(zhì)量流量控制器AFC / AFM系列
層流壓差型質(zhì)量流量控制器AFC / AFM系列
超緊湊
該流量控制器測量當(dāng)氣體流過小層流元件時(shí)產(chǎn)生的氣體的壓差，校正溫度和壓力，并測量和控制質(zhì)量流量。
通過采用小的層流元件實(shí)現(xiàn)了小型化。
隨著流量的元素的適當(dāng)選擇，可以從微小流量到大流量處理?！?/font>
1. 1。可以從微小的流量到大容量 進(jìn)行測量，通過選擇一個(gè)元件可以支持從10nccm到50NLM的流量
。全流量方式的流量測量和控制具有 較強(qiáng)的抗暫時(shí)水污染和流入氣體凝結(jié)的能力
。實(shí)現(xiàn)高速實(shí)際流量響應(yīng)控制
4。還輸出燃?xì)庀到y(tǒng)的溫度和壓力信息，是 燃?xì)夤?yīng)系統(tǒng)診斷的選擇。
| 目標(biāo)氣體 | N2，空氣，H2，CH4，Ar，CO2，CO，C3H8等 |
| 流量范圍 | 10NCCM-50NLM（0℃，1 atm轉(zhuǎn)換） |
| 控制范圍 | 2-100FS |
| 準(zhǔn)確性 | 1％FS |
| 重復(fù)性 | ±0.2％FS |
| 反應(yīng)速度 | 2秒以內(nèi)（達(dá)到滿刻度設(shè)定值的±2％的時(shí)間） |
| 控制范圍 | 2-100 |
| 工作溫度極限 | 0至50°C（10至40°C：保證精度），無凝結(jié) |
| 耐壓 | 0.99兆帕 |
| 外密封 | 1x10 -7 Pam 3 /秒（He）以下 |
| 輸入信號(hào) | 0-5VDC，RS485（4-20mA出廠選項(xiàng)） |
| 輸出信號(hào) | 0-5VDC，RS485（4-20mA出廠選項(xiàng)） |
| 電源電壓 | DC24V±10％200mA以下 |
| 氣體接觸材料 | SUS316，Viton等（與SUS316L兼容） |
| 電源連接器 | D-Sub 15針（需要控制盒） |
| 尺寸 | 面對(duì)面尺寸108毫米高62毫米（不包括連接器） |
| 管件 | 1/4世偉洛克等效接頭（可用VCR等效接頭） |
*對(duì)于金屬密封件，請(qǐng)AFC-150M。
* DPFC-250用于100至500 NLM，而DFSC-500用于1000 NLM或更高。
* DPFC-250用于100至500 NLM，而DFSC-500用于1000 NLM或更高。
■線性電路的高速響應(yīng)跟隨性
■直接總流量測量
■氣體水分污染無故障■氣體水分污染無故障
