三維磁場探針臺

產品概述：

公司提供的一維 、二維 、三維探針臺，采用無磁材料制成，一維 、二維 、三維三對亥姆霍茲線圈正交放置，產生空間一維 、二維 、三維磁場。線圈可采用風冷（磁場較?。┮部刹捎盟浣Y構（磁場較大），并且配備有線圈過熱保護裝置。和錦正茂生產的高精度雙極性直流電源配合使用可以長時間穩(wěn)定工作。通過軟件或者電源控制面板上按鍵控制每一維上的輸出電流，可以產生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動樣品臺，可以實現水平方向二維移動和樣品臺360度轉動，便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等。

應用范圍：

廣泛應用于半導體工業(yè)、MEMS 、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫(yī)學等領域。自主研發(fā)的高精度雙極性電源相匹配，通過真正的雙極性電源輸出，實現了空間任意方向上的矢量場合成。

可選附件：

þ 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線

þ CCD或C-MOS視頻成像裝置

þ Chuck運動裝置

þ 電磁鐵系統(tǒng)/超導磁鐵系統(tǒng)

þ 1Mpa正壓系統(tǒng)升級

þ 超高溫升級選件

þ 超高真空升級選件

þ 各類探針夾具

þ 屏蔽箱

þ 防振桌

þ 轉接頭

þ *真空泵

技術指標：