Technoorg Linda 全自動離子束減薄系統(tǒng)

產(chǎn)品特色

  穿透減薄+表面清潔一機兩用,快速自動樣品交換系統(tǒng)

Technoorg Linda 全自動離子束減薄系統(tǒng)

產(chǎn)品參數(shù)

   ※離子槍

   聚焦高能量離子槍:～10 keV

   (或選配聚焦超高能量離子槍:～16 keV)

   聚焦低能量離子槍:100 eV～ 2 keV

   ※樣品臺

   電動樣品臺傾斜角度 0-40°

   計算機控制連續(xù)平面旋轉(zhuǎn)360°，搖擺 ±10° 到 ±60°

   可裝載樣品厚度(30 - 200 μm)

   ※監(jiān)測成像系統(tǒng)   

   高分辨率CMOS彩色相機，可視化監(jiān)測減薄過程和自動結(jié)束，手動變焦50-400x放大倍數(shù)

   ※計算機控制系統(tǒng)

   內(nèi)嵌式工業(yè)級計算機，直觀式用戶操作界面和圖像分析模塊

   *自動控制離子發(fā)生源，自動樣品置換

   可事先編程銑削參數(shù)用于自動制備，也可手動設(shè)定各種參數(shù)

   ※真空系統(tǒng)          

   薄膜泵及渦輪泵的普發(fā)真空系統(tǒng)，搭配Pirani/Penning真空計，達到無油式真空抽氣系避免樣品污

   染

   ※供氣系統(tǒng)          

   99.999% 純度氬氣，電動針閥高精度控制工作氣體流量

   特制壓力調(diào)整泵，電子監(jiān)控輸出壓力，通過電動針閥高精度控制氣流

勀杰科技有限公司是一家販?zhǔn)蹖嶒炇揖茉O(shè)備儀器的專業(yè)公司。經(jīng)營范圍主要為：主動式消磁器臺,主動式減振臺,離子減薄儀器,特制TEM樣品載臺及相關(guān)耗材配件。本公司銷售的儀器質(zhì)量和服務(wù)均為yi流，未來將會持續(xù)提供更好的產(chǎn)品并能成為客戶忠實的商務(wù)伙伴。勀傑科技有限公司創(chuàng)立於2009年，主要是基於協(xié)助解決客戶端之電子顯微鏡、電子束曝光顯影系統(tǒng)、CD metrology和聚焦離子束顯微鏡因外部磁場干擾所造成影像解析能力下降及量測結(jié)果不準(zhǔn)確的問題。因此在取得Spicer主動式消磁器公司在中國臺灣及大陸地區(qū)總經(jīng)銷的授權(quán)下，積極針對海峽兩岸三地的世界級實驗室，大學(xué)和半導(dǎo)體製造工廠之高規(guī)格電子顯微鏡設(shè)備，提供全面的技術(shù)支援及解決方案。